由華愛色譜參與起草的電子特氣領(lǐng)域中的兩項國家標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》和GB/T 42721-2023  《電子特氣 一氧化氮》于近日正式發(fā)布。

GB/T 42720-2023《電子特氣 六氯乙硅烷》規(guī)定了六氯乙硅烷的技術(shù)要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及安全信息的要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于由生產(chǎn)多晶硅副產(chǎn)的六氯乙硅烷經(jīng)純化制備的電子用六氯乙硅烷。

GB/T 42721-2023   《電子特氣 一氧化氮》規(guī)定了一氧化氮的技術(shù)要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存及安全信息的要求。該標(biāo)準(zhǔn)適用于集成電路等電子工業(yè)制造中使用的電子用一氧化氮。