高純氣體是指純度極高的氣體，通常指除主要成分以外，其他雜質(zhì)含量非常低甚至達(dá)到可忽略的程度。由于高純氣體在半導(dǎo)體制造、光纖通信、醫(yī)療設(shè)備、激光技術(shù)等領(lǐng)域中起著至關(guān)重要的作用，因此對(duì)其純度的要求極高，通常要求雜質(zhì)濃度在ppm（百萬(wàn)分之一）甚至ppb（十億分之一）級(jí)別以下。

高純氣體分析色譜（High Purity Gas Analysis Chromatography）是一種用于分析和測(cè)量高純氣體中痕量雜質(zhì)濃度的色譜技術(shù)。為了獲得準(zhǔn)確可靠的分析結(jié)果，進(jìn)行高純氣體分析色譜時(shí)需要注意以下幾點(diǎn)：
1、選擇合適的色譜柱和檢測(cè)器，確保它們對(duì)目標(biāo)雜質(zhì)具有足夠的靈敏度和選擇性。
2、定期對(duì)色譜系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)，確保系統(tǒng)性能穩(wěn)定可靠。
3、嚴(yán)格控制樣品處理過(guò)程，避免引入新的雜質(zhì)或干擾成分。
4、對(duì)分析結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證和比對(duì)，確保結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

GC-9560-HG高純氣體分析色譜儀適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器，通過(guò)無(wú)死體積取樣或在線進(jìn)樣方式，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測(cè)，檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí)，重復(fù)性RSD≤1％。