晶圓微區(qū)芯片IC針角鍍層測厚儀解決方案
作為集成電路的芯片載體的引線框架,它起到了和外部導(dǎo)線連接的橋梁作用,絕大部分的半導(dǎo)體集成塊中都需要使用引線框架,是電子信息產(chǎn)業(yè)中重要的基礎(chǔ)材料。封裝基板是Substrate(簡稱SUB)?;蹇蔀樾酒峁╇娺B接、保護(hù)、支撐、散熱、組裝等功效,以實(shí)現(xiàn)多引腳化,縮小封裝產(chǎn)品體積、改善電性能及散熱性、超高密度或多芯片模塊化的目的。
作為芯片封裝的載體和基板,為了芯片和引線框架和基板的良好連接,會(huì)在引線框架以及基板上進(jìn)行鍍銀或者化學(xué)鎳鈀金(ENEPIG)的電鍍處理。
ENEPIG工藝,是指在基材表面先鍍化學(xué)鎳然后在鍍鈀和金,Au 和 Pd 的涂層厚度僅為幾納米。為了確保產(chǎn)品品質(zhì),必須要對低納米的鍍層厚度進(jìn)行測量。