詳細介紹
Turbo-V 2300 TwisTorr進口渦輪分子泵擁有同類產(chǎn)品中較快的 N2 抽速。該泵采用*的 Twistorr 技術(shù),是當今市場上小分子氣體壓縮比高的渦輪分子泵。該泵專為科研應(yīng)用設(shè)計,并且采用全顯示機架控制器進行操作。由于能耐受很高的前級壓力,該泵可采用安捷倫 TS600 等經(jīng)濟實惠的小型干式渦旋泵作為前級泵。
特性
1.Turbo-V2300解決方案包括獨立式泵和機架式顯示控制單元
2.*進的轉(zhuǎn)子設(shè)計與TwisTorr技術(shù)相結(jié)合,可減少泵的級數(shù)
3.*的整體型轉(zhuǎn)子可減少材料應(yīng)力并改善組裝件容差
4.電機可縮短啟動時間并在氣體負荷變化情況下提高泵的穩(wěn)定性
5.熱耗散更低,真空性能更高
6.*進的水冷系統(tǒng)
7.優(yōu)化的風(fēng)冷系統(tǒng)
8.潔凈的免維護真空
9.采用了安捷倫A-PLUS軟件(原T-plus)
渦輪分子泵應(yīng)用范例
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達到高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商,安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
Turbo-V 2300 TwisTorr進口渦輪分子泵?應(yīng)用
領(lǐng)域 | 詳細說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積:
設(shè)備加工:
一般工藝:
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納米技術(shù)儀器 |
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技術(shù)規(guī)格
真空性能
N2 抽速 (*) | N2:2050 L/s |
He 抽速 (*) | N2:1800 L/s |
H2 抽速 (*) | 1500 L/s |
N2 壓縮比 | > 8 × 108 |
He 壓縮比 | 8 × 105 |
H2 壓縮比 | 4 × 104 |
極限真空*(使用推薦的前級泵) | 10-10 mbar (7.5 x 10-11 Torr) (**) |
N2 大前級壓力 | 4 mbar |
入口法蘭 | ISO 250F,CFF 12 英寸(外徑) |
前級管道法蘭 | KF 40 NW |
其他
額定轉(zhuǎn)速 | 33300 rpm |
使用推薦前級泵,無氣體負載的啟動時間 | < 6 分鐘 |
H2 抽速 (*) | 1500 L/s |
推薦的小前級泵 | TriScroll 600 |
工作位置 | 垂直/倒立 |
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C |
烘烤溫度 | 120 °C (CFF),80 °C (ISO) |
高轉(zhuǎn)子溫度 | 120 °C |
振動參數(shù)(位移) | 在入口法蘭處小于 0.01 μm |
潤滑油 | 持續(xù)性潤滑 |
冷卻要求 | 水 |
冷卻水 | 建議流速:200 L/h 溫度:+15 °C 至 +30 °C 壓力:3 至 5 bar(45 至 75 psi) |
噪音水平 | 1 米內(nèi)小于 60 dB(A) |
儲存溫度 | -20 °C 至 +70 °C |
環(huán)境保護 | IP54 |
重量 | ISO 250:54.2 kg(119.5 磅) CFF 12 英寸:55.3 kg(121.9 磅) |
(*):無濾網(wǎng)
(*):根據(jù)德國工業(yè)標準 (DIN) 28 428,在*烘烤的無泄漏的測試罩中,用渦輪泵連接一個 CFF 法蘭,并采用推薦的前級泵,抽取 48 小后,測試罩內(nèi)部測得的真空度
稱作極限真空
控制器性能指標
輸入電壓 | 100-120 VAC,220-240 Vac,1 相 |
輸入頻率 | 50-60 Hz |
大輸入功率 | 1300 VA |
輸出電壓 | 64 Vac |
輸出頻率 | 555 Hz |
啟動時的輸出功率 | 大 560 W |
額定輸出功率 | 大 450 W |
重量(兩種型號) | 12.5 kg(28 磅) |
安裝類別 | II |
污染等級 | 2 |