壓力傳感器是壓力變送器中將壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的關(guān)鍵器件。擴(kuò)散硅式壓力變送器的敏感元件是擴(kuò)散硅壓力傳感器,通常帶有不銹鋼隔離膜片將測(cè)量介質(zhì)與硅片隔離開。其特點(diǎn)是輸出靈敏度較高,價(jià)格實(shí)惠。
擴(kuò)散硅壓力變送器,廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、石油、化工、冶金、電力等控制平臺(tái),它是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,組成惠斯凳電橋,利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一種硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢驗(yàn)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。在使用過程中有哪些需要咱們注意的呢?
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