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 SFM3000氣體質(zhì)量流量計(jì)Sensirion數(shù)字校準(zhǔn)集成

每一個(gè)質(zhì)量流量傳感器的核心都是一個(gè)基于MEMS的熱式微傳感器，可利用熱式原理測(cè)量氣體流量。傳感元件與后續(xù)信號(hào)處理電路集成在一個(gè)芯片上。這種*的集成技術(shù)——由與倫比的CMOSens® 技術(shù)提供——以非常有吸引力的成本實(shí)現(xiàn)出色的性能。

 

SFM3000以良好的精度和快速響應(yīng)時(shí)間雙向測(cè)量高達(dá)200 slm的空氣及其他無腐蝕性氣體的流量。該傳感器以2 kHz的更新率輸出14位數(shù)字信號(hào)。信號(hào)經(jīng)內(nèi)部線性化和溫度補(bǔ)償。

SFM3000流量計(jì)以5 Vdc電源電壓工作，其數(shù)字I2C接口便于直接連接微控制器。

 

SFM3000傳感器的性能基于Sensirion的CMOSens® 技術(shù)，它將傳感器元件、信號(hào)處理和數(shù)字校準(zhǔn)集成在一個(gè)微小芯片上。氣體流速由熱式傳感器元件測(cè)量，以提供優(yōu)于其他流量測(cè)量技術(shù)的擴(kuò)展動(dòng)態(tài)范圍和增強(qiáng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

依賴該成熟的CMOSens® 技術(shù)，SFM3000非常適合于高品質(zhì)批量生產(chǎn)，是要求苛刻和成本敏感的OEM應(yīng)用的理想選擇。