詳細(xì)介紹
無塵車間
無塵車間,亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。濮陽無塵車間工程
防止方法:
在電子元件制品的制造過程中,微粒子污染對成品率有重大影響,故應(yīng)在過程中嚴(yán)格控制微粒子的數(shù)量,遵守“不攜入、不發(fā)生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
無塵室內(nèi)的浮游微粒子濃度,使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平,實際的生產(chǎn)現(xiàn)場由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊揚起了少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染。
無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列四項基本原則:
1)不攜入
在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有:
作業(yè)員進(jìn)入無塵室前,機(jī)臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;
進(jìn)入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入無塵室。
機(jī)器及材料帶進(jìn)無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無塵室。
無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
2)不發(fā)生
在控制大污染源--人在無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺的發(fā)塵量。因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到小限度應(yīng)采取以下對策:
減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);
采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);
采用發(fā)塵小的潤滑油;
機(jī)臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。
3)不儲備
若能*實施“不攜入”技術(shù),無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺的掣動,在廣大的無塵室內(nèi)要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起,增加了重大微粒子污染的危險性。
在高等級的無塵室中從天花板到地面,*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內(nèi)將室內(nèi)空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數(shù)值。同時,空氣的流向也必須要有準(zhǔn)確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi),而一部分會附著在周邊機(jī)器設(shè)備的表面而引起污染。
控制氣流可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。
4)排除/除去
在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,負(fù)離子檢測儀而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。
維護(hù)管理:
潔凈技術(shù)在近20年發(fā)展迅速,各種規(guī)模、不同等級的無塵室在電子、精密機(jī)械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用,為提高產(chǎn)品質(zhì)量、開發(fā)產(chǎn)品做出了重要貢獻(xiàn)。無塵室如果設(shè)計是正確、合理的,施工建造是高質(zhì)量的,但在運行維護(hù)管理中不科學(xué)、不嚴(yán)格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降,造成實際生產(chǎn)環(huán)境中的多項指標(biāo)偏離規(guī)定要求,從而產(chǎn)品質(zhì)量下降,甚至不合格。
無塵室人員管理,制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入無塵室人員的“人凈程序”管理。物流管理,物料進(jìn)入、各類設(shè)備進(jìn)入,以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理,包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理,對于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。
監(jiān)控?zé)o塵室在使用過程中正常的運行和維護(hù),應(yīng)對室內(nèi)的運行狀況及相關(guān)設(shè)施進(jìn)行定期檢查。如:在規(guī)定的時間、地點,用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)定時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面,在規(guī)定的時間、地點測定和核對連續(xù)測定記錄;測量凈化空調(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差,檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況,使用風(fēng)速計檢查局部排風(fēng)裝置的風(fēng)量;使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風(fēng)機(jī)軸承、送風(fēng)機(jī)的運行狀態(tài)、塵埃和污物,以及送、回風(fēng)管道內(nèi)部和送風(fēng)口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內(nèi)是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕;涂敷狀態(tài)、機(jī)械和設(shè)備類有沒有異常現(xiàn)象等,必須逐個列表檢查,不能遺漏任何一項;使用照度表在規(guī)定的時間、地點測定照度值;使用壓差表測定無塵室內(nèi)外的靜壓差。濮陽無塵車間工程