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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
SFT-110 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀
日立高科(前身:日本精工)推出配備自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀SFT-110，使操作性進(jìn)一步提高。
對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理，可保證產(chǎn)品的功能及品質(zhì)，降低成本。精工從1971年*推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高精度測(cè)量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀以來，已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺(tái)，得到了國內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
SFT-110 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀
為了適應(yīng)日益提高的鍍層厚度測(cè)量需求，精工開發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量儀SFT-110。通過自動(dòng)定位功能，僅需把樣品放置到樣品臺(tái)上，就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此，無需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大大提高了樣品測(cè)量的操作性。
近年來，隨著檢測(cè)零件的微小化，對(duì)微區(qū)的高精度測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下，也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。并且，配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量，可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
即放即測(cè)！
通過自動(dòng)定位功能，放置樣品后僅需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。
10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量！
以的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地提高膜厚測(cè)量的精度。
無標(biāo)樣測(cè)量！
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高精度的測(cè)量。也可簡單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。
通過廣域觀察系統(tǒng)更方便選擇測(cè)量位置！
通過廣域觀察系統(tǒng)，能夠從畫面上的樣品整體圖（大250×200mm）中方便地測(cè)量位置
基本參數(shù)：
測(cè)量元素: 原子序號(hào)22（Ti）～83（Bi）
X射線源: 空冷式小型X射線管
檢測(cè)器: 比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器: ○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2種
樣品觀察: CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察）
對(duì)焦: 激光點(diǎn)（自動(dòng)）
濾波器： 一次濾波器： 自動(dòng)切換
樣品臺(tái)（臺(tái)式尺寸）: 500(W) x400(D) x 150（H）mm
（移動(dòng)量）: X:250mm, Y:200mm
操作部: 電腦、19寸液晶
測(cè)量軟件: 薄膜FP法 （多5層膜、10種元素）、標(biāo)準(zhǔn)曲線法
數(shù)據(jù)處理: 配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
安全機(jī)構(gòu): 樣品門連鎖、樣品的防沖撞功能、儀器診斷功能