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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
日本日立FT110XRF螢光鍍層厚度測量儀
FT-110通過自動定位功能,僅需把樣品放置到樣品臺上,就可在數(shù)秒內(nèi)對樣品進行自動對焦。由此,無需進行以往的手動逐次對焦的操作,大大提高了樣品測量的操作性。
近年來,隨著檢測零件的微小化,對微區(qū)的高精度測量的需求日益增多。FT-110實現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度,即使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測量的精度。
同時,F(xiàn)T-110還配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進行多達5層10元素的多鍍層和合金膜的測量,可對應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。
可從大250×200mm的樣品整體圖像測量位置,另有機倉開放式機種,可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量日本日立FT110XRF螢光鍍層厚度測量儀
低價位也是FT-110的特點,與以往機型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價格。
膜厚儀作為可靠的品管工具,可針對半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進行測量管理,可保證產(chǎn)品的功能及質(zhì)量,降低成本。
特點:
·即放即測:無需人工對焦造成誤差,測量結(jié)果更可靠;
·測試速度快:3秒自動對焦,10秒鐘完成50nm級極薄鍍層的測量;
·無標(biāo)樣測量:與以往的技術(shù)相比,薄膜FP軟件得到進一步擴充,即使沒有標(biāo)準(zhǔn)品也能精確測量;
·多鍍層測量:多能夠進行5層的多鍍層樣品測量;
·廣域圖像觀察:能將樣品圖像放大5到7倍,并對測量部位精確定位;
·低成本:較以往機型價格降低了20%。
FT110可降低成本如下:
˙節(jié)省材料費,
資源緊缺已是大勢所趨,企業(yè)的材料費也是節(jié)節(jié)攀高;尤其是表面處理工作中所用到的貴金屬更是一漲再漲,比如眾如周知的黃金Au已從十幾年前的百余元每克上漲到三百多元,以印刷電路板廠每年產(chǎn)量幾十萬套為例,根據(jù)業(yè)界經(jīng)驗如果能更好控制鍍層厚度,企業(yè)每年可節(jié)約上千萬的費用。
˙減少工期(作業(yè)人工)
通過X射線儀來評價,管理產(chǎn)品可以輕松知曉產(chǎn)品能發(fā)揮大功能時的小鍍層厚度,從而避免重復(fù)電鍍造成的電費和人工費的流失。
˙減少修理,修補等產(chǎn)生的制作費用
通過X射線儀可避免鍍層不均或太薄造成的質(zhì)量問題,以及后續(xù)的返工造成的費用。
基本規(guī)格
測量元素 | 原子序號22(Ti)~83(Bi) | 鍍層測試軟件 | 薄膜FP法 |
X射線管 | 管電壓:50KV 管電流:1mA | 薄膜檢量線法 | |
檢測器 | 比例計數(shù)管 | 測量功能 | 自動測量、中心搜索 |
準(zhǔn)直器 | 0.1mmΦ, 0.2mmΦ | 定性功能 | KL標(biāo)記線、對比顯示 |
影像窗口 | CCD攝像機(帶倍率放大功能) | 安全功能 | 樣品門安全防護機構(gòu) |
X-ray Station | 計算機+19英寸液晶顯示器 | 使用電源 | 100~240V/15A |
樣品臺移動量 | 250(X)×200(Y)mm | 樣品大高度 | 150mm |