德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
:PI(Physik Instrumente)
公司簡介:
德國PI公司是運(yùn)動(dòng)和定位領(lǐng)域的解決方案供應(yīng)商。
PI不僅開發(fā)和生產(chǎn)各種定位平臺(tái)和執(zhí)行器,用于線性,旋轉(zhuǎn)和垂直運(yùn)動(dòng)或不同軸的組合。
具有孔徑的高精度XY掃描儀
P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器
§ X和Y向上的行程達(dá)100微米×100微米
§ 電容式傳感器使分辨率達(dá)0.1納米
§ 帶直接驅(qū)動(dòng)器的高速版本
§ 可提供真空兼容和非磁性版本
§ 并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)更高精度和動(dòng)態(tài)
§ 導(dǎo)向誤差主動(dòng)補(bǔ)償?shù)牟⑿杏?jì)量
§ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
§ 50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光 應(yīng)用
PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器帶來超長使用壽命
的PICMA壓電陶瓷促動(dòng)器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動(dòng)器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動(dòng)器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。
帶電容式傳感器,實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量,且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運(yùn)動(dòng)線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度
柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,且它們對(duì)chong擊和振動(dòng)不敏感。 它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。
自動(dòng)配置和快速部件更換
機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲(chǔ)在機(jī)械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動(dòng)時(shí),數(shù)字控制器的自動(dòng)校準(zhǔn)功能就會(huì)使用這些數(shù)據(jù)。
直接位置測量帶來大精度
運(yùn)動(dòng)直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測量,*不受驅(qū)動(dòng)或?qū)蛟挠绊憽_@樣可以實(shí)現(xiàn)jia的重復(fù)精度、優(yōu)異的穩(wěn)定性和剛性 、快速響應(yīng)控制。
并聯(lián)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)多軸操作
在并聯(lián)多軸系統(tǒng)中,所有促動(dòng)器作用于同一個(gè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。所有軸具有小的質(zhì)量慣性和相同的設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)快速、動(dòng) 態(tài)和精密的運(yùn)動(dòng)。
適用于復(fù)雜真空應(yīng)用
壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可 實(shí)現(xiàn)極低的排氣率。
訂購信息
帶直接驅(qū)動(dòng)器
P-733.2DD 高動(dòng)態(tài)精密XY向納米定位系統(tǒng),30 微米 × 30 微米,直接驅(qū)動(dòng),電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
帶Sub-D連接器(公頭)的版本
P-733.2CD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器
帶LEMO連接器的版本
P-733.2CL 精密XY向納米定位系統(tǒng),100 微米 × 100 微米,電容傳感器,平行計(jì)量,LEMO連接器
配件
P-733.AP1 接裝板用于將P-733 壓電工作臺(tái)安裝在M-545 XY位移平臺(tái)上
線性定位器,真空兼容達(dá)10-9百帕
P-733.2VL 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計(jì)量,LEMO連接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2VD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器,真空兼容至10-6百帕
P-733.2UD 精密XY向納米定位系統(tǒng),100微米 × 100微米,電容傳感器,平行計(jì)量,Sub-D連接器,真空兼容至10-9百帕
德國PI P-733.2 XY壓電陶瓷納米定位器