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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-12-02 10:00:58
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高精度微型六維位移臺
昊量光電設(shè)備有限公司推出的六足位移平臺是基于線性平臺模組開發(fā)的六維運動控制系統(tǒng)。該平臺可提供六個自由度控制（XYZ和繞三個軸的旋轉(zhuǎn)）。與常規(guī)的六足平臺相比該平臺，該平臺體積更緊湊，擁有較高的剛度和較低的運動質(zhì)量，并且客戶可以自定義虛擬運動軸點。
由于平臺均采用模塊化設(shè)計，因此其運動尺寸和作用力可以根據(jù)需求的不同做定制，行程可從幾厘米到一米，分辨率可達到納米量級。
產(chǎn)品擁有以下特點：
1）擁有六個自由度
平臺是一個并聯(lián)運動納米操作系統(tǒng)，不同于常規(guī)的堆疊設(shè)計，該平臺由多個線性平臺同時運動驅(qū)動。定位器的平行設(shè)置優(yōu)化了整個系統(tǒng)的剛度，并允許控制所有六個自由度（X,Y,Z,俯仰，偏航和旋轉(zhuǎn)）
2）用戶可自定義軸心點
可自由設(shè)置軸心點，可繞空間任意一點旋轉(zhuǎn)
3）多選項
高&超高真空兼容
非磁材料
抗紫外線材料
4）高分辨率和重復(fù)精度
無反向空回的機械設(shè)計使該系統(tǒng)與線性平臺有相同的量級的性能，分辨率可達到1nm和1μrad，X,Y,Z的雙向可重復(fù)性可達到200nm，旋轉(zhuǎn)重復(fù)精度可達10μrad，對于小行程重復(fù)精度會更高。
上海昊量提供的六維調(diào)節(jié)架主要包含以下幾款產(chǎn)品。
Positioner Series | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-2000 | |
Picture |  |  |  |  |  |  |  |  | |
Travel (mm) | X | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79 to 119 | 20 to 1200 | 200 |
Y | 10 | 11 | 20 | 41 | 28 to 48 | 45 to 119 | 45 to 119 | 200 | |
Z | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 | |
Rotation(°） | Qx | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Qy | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 | |
Qz | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 | |
repeatability forfull travel range | nm | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 | <±200 |
μrad | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | <±10 | |
max. vertical load [N] | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 | |
max. horizontal load [N] | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | ||
dimension [mm2] | F70 | F115 | F110 | F225 | 110´50 | 110´90 | 250´80 | 420´430 | |
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