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貨物所在地：上海上海市
更新時間：2024-11-08 17:10:21
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納米精度，大行程電動平移臺！
所屬類別：光機產(chǎn)品/精密定位控制系統(tǒng) » 電動平移臺
技術(shù)服務(wù)人員：李工(William)
納米精度電動平移臺。
電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅(qū)動電機及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標參數(shù)有位移精度、行程、負載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動平移臺傳動螺桿采用滾珠絲杠實現(xiàn)高速平穩(wěn)運動，*的螺桿品質(zhì)使平移臺擁有的分辨率、定位精度。采用超高等級交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高的運動性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時，分辨率達到了1nm。按照定位精度區(qū)分，我司平移臺可分為 1nm高精度位移臺、5納米精度和10納米精度位移臺、亞微米精度位移臺。
1）1nm高精度電控位移臺。
該系類位移臺可分為諧波齒輪5相步進電機驅(qū)動和普通的5相步進電機兩種類型的平移臺。采用光柵尺位置反饋閉環(huán)控制使其分辨率可達到1納米，重復(fù)定位精度可達到±2nm，可提供20mm、40mm和50mm三種不同的行程，并可以組裝成多維電控運動系統(tǒng)。
2）5nm精度電控位移臺
該系類產(chǎn)品是一款擁有5納米定位精度的閉環(huán)控制平移臺，可提供 20mm、40mm、和50mm三個不同的行程，由于采用光柵尺位置編碼閉環(huán)反饋控制，使其擁有優(yōu)秀的分辨率、定位精度及重復(fù)定位精鍍。
3）10nm精度電控位移臺
該系類電控位移臺是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時，使設(shè)備擁有較高的精度。該系類評議臺可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺。
4）亞微米分辨率電控位移臺
該系類位移平臺是指分辨率可達到亞微米精度的精密運動系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達到50-100nm，可提供20mm、40mm、50mm、100mm、120mm、150至200mm等不同行程的電控位移臺，并可以根據(jù)需求組成二維電控平移臺。
此外該系列平移臺提供在真空條件下的同規(guī)格的電控平移臺，可承受的真空度可達到10-4Pa，相當于10-6 torr的真空度。
主要特點
主要應(yīng)用
超精密激光加工、超精密三維掃描測量、全自動計量儀器檢測設(shè)備、工業(yè)自動化等領(lǐng)域。
主要參數(shù)：
型號 | 行程(mm) | 大負(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精(nm) | 大移動速度(mm/s) |
AU-FS-1020 SPX（MD） | 20 | 49 | 1 | ±2 | 0.4 |
AU-FS-1040 SPX（MD） | 40 | 49 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1050 SPX（MD） | 50 | 98 | 1 | ±2 | 0.5 |
AU-FS-1020UPX | 20 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1040UPX | 40 | 49 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1050UPX | 50 | 98 | 1 | ±2 | 5 |
AU-FS-1020 SPX | 20 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1040 SPX | 40 | 49 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1050 SPX | 50 | 98 | 5 | ±10 | 5 |
AU-FS-1020 PX | 20 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1040 PX | 40 | 49 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS - 1050 PX | 50 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-1100 PX | 100 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3150PX | 150 | 98 | 10 | ±20 | 10- |
AU-FS-3200 PX | 200 | 196 | 10 | ±20 | 20 |
亞微米精度電控位移臺參數(shù)：
型號 | 行程（mm） | 大負載(N) | 分辨率(nm) | 重復(fù)定位精度(nm) | 大移動速度(mm/s) | ||
FC-411 | FC-111 | FC-411 | FC-111 | ||||
FS-1020X | 20 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1040X | 40 | 49 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1050X | 50 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-1100X | 100 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3150X | 150 | 98 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
FS-3200X | 200 | 196 | 50 | 100 | ±100 | ±200 | 10 |
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