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online雙折射測(cè)量?jī)xKAMAKIRI WM應(yīng)用領(lǐng)域:
online雙折射測(cè)量?jī)xKAMAKIRI WM技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)次 | 項(xiàng)目 | 具體參數(shù) |
1 | 輸出項(xiàng)目 | 相位差【nm】,軸方向【°】 |
2 | 測(cè)量波長(zhǎng) | 520nm |
3 | 雙折射測(cè)量范圍 | 0-130nm/0-260nm(選配) |
4 | 主軸方位范圍 | 0-180° |
5 | 測(cè)量重復(fù)精度 | <1nm(西格瑪) |
6 | 測(cè)量寬度尺寸 | 350mm |
7 | 寬度方向測(cè)量點(diǎn) | 2560 |
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