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PA-300-MT-相位差/應(yīng)力雙折射測量儀PA-300-MT

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貨物所在地：北京北京市

所在地：日本

更新時間：2024-06-28 21:00:18

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產(chǎn)品分類品牌分類

雙折射測量儀: 應(yīng)力雙折射測量儀PA系列應(yīng)力雙折射測量儀WPA系列顯微型雙折射測量儀晶圓應(yīng)力雙折射測量儀在線型應(yīng)力雙折射測量儀偏振相機膜厚測量儀

無掩膜光刻系統(tǒng): 無掩膜光刻機

微區(qū)取樣系統(tǒng): 微區(qū)取樣儀

顯微鏡系列設(shè)備: 共聚焦顯微鏡

薄膜應(yīng)力儀/球坑儀/桌面級鍍膜系統(tǒng): 測量

半導(dǎo)體設(shè)備: 劃片機研磨機清洗機解膠機貼膜機刀具與耗材

微光學(xué)元件: 微光透鏡與耦合系統(tǒng)

激光器: 激光加工設(shè)備激光測距儀半導(dǎo)體激光器

物理特性測量設(shè)備: 納米壓痕儀

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BRANSON/必能信
Sympatec/新帕泰克
ELIONIX

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供應(yīng)簡介詳細介紹

PA系列是Photonic lattice公司傾力打造的測量儀，測量雙折射測量范圍達0-130nm，可以測量的樣品范圍從幾個毫米到近500毫米，以其技術(shù)光子晶體偏光陣列片，*的雙折射算法設(shè)計制造，得到每樣品僅需幾秒鐘的測量能力，相位差/應(yīng)力雙折射測量儀 PA-300-MT 是工業(yè)界優(yōu)選。

相位差/應(yīng)力雙折射測量儀 PA-300-MT 是Photonic lattice公司傾力打造的測量儀，PA系列測量雙折射測量范圍達0-130nm，可以測量的樣品范圍從幾個毫米到近500毫米，以其技術(shù)光子晶體偏光陣列片，*的雙折射算法設(shè)計制造，得到每樣品僅需幾秒鐘的測量能力，是工業(yè)界優(yōu)選。

相位差/應(yīng)力雙折射測量儀PA-300-MT?主要特點：

操作簡單，測量速度可以快到3秒；
視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣；
更直觀的全面讀取數(shù)據(jù)，無遺漏數(shù)據(jù)點；
具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較；
維護簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學(xué)濾片的機構(gòu);
高達2056x2464像素的偏振相機。

相位差/應(yīng)力雙折射測量儀PA-300-MT應(yīng)用領(lǐng)域：

小尺寸樣品
光學(xué)鏡頭

主要技術(shù)參數(shù)：

項次	項目	具體參數(shù)
1	輸出項目	相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】

2	測量波長	520nm

3	雙折射測量范圍	0-130nm

4	測量小分辨率	0.001nm

5	測量重復(fù)精度	<1nm（西格瑪）

6	視野尺寸	17.5x21mm到33x40mm（標準）

7	選配鏡頭視野	6.3x7.5mm

8	選配功能	實時解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實現(xiàn)外部控制