產(chǎn)地類別	進口	產(chǎn)品種類	質(zhì)量式
價格區(qū)間	1萬-3萬	介質(zhì)分類	氣體
應(yīng)用領(lǐng)域	生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,汽車,電氣	量程	200SLM、500SLM
精度	1%FS	輸出信號	0-5V，可選RS485
接口	1/2MVCR

horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z552MGX/Z562MGX

高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z552MGX/Z562MGX 又稱氣體質(zhì)量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設(shè)定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-Z552MGX是一款高穩(wěn)定性、高精度的MFC，用于進口設(shè)備的PEVCVD、MOCVD中。

國內(nèi)多回收、二次銷售，我公司提供進口

SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z552/Z562MGX保證全新進口，終身維修。

產(chǎn)品特點
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)：< 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點);
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器兼容;
7) 可選其他數(shù)字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z552/Z562MGX

產(chǎn)品參數(shù)

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器

進口數(shù)字型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG

進口低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S、

國內(nèi)組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、

國內(nèi)組裝數(shù)字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

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高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522

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高精度，量程0-200SLM、0-500SLM

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