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詳細(xì)介紹
CVD-1200系統(tǒng)由滑動(dòng)式開(kāi)啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。CVD-1200系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達(dá)1200℃，通過(guò)滑動(dòng)爐體來(lái)實(shí)現(xiàn)快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來(lái)達(dá)到理想的真空度；同時(shí)通過(guò)三路高精度質(zhì)量流量計(jì)控制不同氣體。 | |
CVD-1200系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)： | |
爐體結(jié)構(gòu) | 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫； 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 爐子底部裝有一對(duì)滑軌，移動(dòng)平穩(wěn) 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開(kāi)啟，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過(guò)用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負(fù)荷高、經(jīng)久耐用 加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：200mm 工作溫度：≤1150℃ zui高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序 測(cè)溫元件：N型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達(dá)5x10-1 Torr 數(shù)顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計(jì)，壓力控制系統(tǒng)等 |
可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計(jì)算機(jī)控制軟件，無(wú)紙記錄儀，氧含量分析儀。 |