RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。

RTP快速退火爐主要功能和特點(diǎn)：

1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便；

2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng)；

3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求；

4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，zui高溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過我司軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；

7、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。

主要用途和適用范圍：

用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)

RTP-1100（通過歐盟CE認(rèn)證，證書編號(hào)：GB/1067/4189/12   Issue 1）

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動(dòng)平臺(tái)

爐膛材質(zhì)

日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好

爐管材質(zhì)

高純石英管；Φ140*450mm，有效試樣空間：5英寸

密封法蘭

不銹鋼快速擠壓密封法蘭

溫控系統(tǒng)

溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃

顯示模式

液晶觸摸屏顯示

加熱元件

進(jìn)口紅外燈管

測(cè)溫元件

N型熱電偶（可選配內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度）

使用溫度

zui高溫度1050℃，連續(xù)工作溫度≤1000℃

升溫速度

推薦≤20℃/ sec，zui快升溫速度50℃/sec

降溫速度

200℃以上≤25min

恒溫區(qū)

加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm

尺寸和重量

設(shè)備：610*1150*550mm （深*寬*高）； 凈重 85kg

機(jī)器電源

AC220V，50/60Hz；額定功率15kw

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

GB/T 10066.1-2004、GB/T 10067.4-2005

可選真空

≤50Pa（常規(guī)機(jī)械泵+指針壓力表），≤10Pa（高配機(jī)械泵+數(shù)顯壓力表）

可選混氣

多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng)

選購件

爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計(jì)算機(jī)控制軟件等。