1928年德國人研制成功第一臺超聲波流量計，超聲波流量計至今已有75年歷史。
1955年首先應用于馬克森（MAXSON）流量計測量航空燃燒油，這是一種基于聲循環(huán)法的兩組探頭（換能器）組成的液體流量計。
1958年A.L.H-ERDRICH等人發(fā)明折射式探頭，由于他們的研究可進一步消除由于管壁的交混回響所產(chǎn)生的相位失真，也為管外夾裝提供了理論依據(jù)。
進入20世紀七十年代以后：
由于集成電路和鎖相環(huán)路技術(shù)的發(fā)展，使超聲波流量計得以克服以前的精確度不高，響應慢，穩(wěn)定性與可靠性差等致命弱點，使實用的超聲波流量計得以發(fā)展。
近20年來特別是近10年來，基于高速數(shù)字信號的處理技術(shù)與微處理技術(shù)的快速發(fā)展，基于新型探頭材料與工藝的研究以及聲道配置與流量動力學的研究，
超聲流量測量技術(shù)取得了長足進展，顯示了強勁的技術(shù)優(yōu)勢，發(fā)展勢頭迅猛。
2000年在巴西召開的國際流量測量學術(shù)會議（FLOMEK-O‘2000）上共宣讀學術(shù)論文集103篇，
其中直接涉及超聲波流量計及超聲波技術(shù)的論文20篇，約占論文總數(shù)的1/5。
在歷次國際流量學術(shù)會議上，采用超聲波流量計作為傳遞標準的文獻愈來愈多，可見超聲波流量計其潛在的巨大的生命力。
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