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          目錄:青島森泉光電有限公司>>光學(xué)平臺(tái)>>主動(dòng)隔振平臺(tái)>> STACIS III-TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
          • TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
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          參考價(jià) 9999
          訂貨量 ≥1臺(tái)
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          9999
          ≥1臺(tái)
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 品牌 TMC
          • 型號(hào) STACIS III-
          • 廠商性質(zhì) 代理商
          • 所在地 青島市
          屬性

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          更新時(shí)間:2024-10-08 11:19:43瀏覽次數(shù):1036評(píng)價(jià)

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          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)
          STACIS ® III 是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和zui 先 進(jìn)的壓電致動(dòng)器,通過(guò)連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng),然后膨脹和收縮壓電致動(dòng)器以濾除地板運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。

          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

          STACIS ® III 是一種靈活的高級(jí)主動(dòng)隔振系統(tǒng)。STACIS 采用*的慣性振動(dòng)傳感器、復(fù)雜的控制算法和zui 先 進(jìn)的壓電致動(dòng)器,通過(guò)連續(xù)測(cè)量地板活動(dòng),然后膨脹和收縮壓電致動(dòng)器以濾除地板運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)時(shí)消除振動(dòng)。
          STACIS 最初設(shè)計(jì)用于隔離*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計(jì)量和檢測(cè)設(shè)備,現(xiàn)在是噪聲環(huán)境中最敏感儀器的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案,包括但不限于半導(dǎo)體工廠、故障分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究。

          STACIS III 包括一個(gè)新的和改進(jìn)的數(shù)字控制器,DC-2020。憑借新的雙核處理器和以太網(wǎng)以及前后面板的 USB 串行端口,這種新的高級(jí)控制系統(tǒng)為用戶提供了現(xiàn)代且易于使用的圖形用戶界面 (GUI)。STACIS 在全球范圍內(nèi)成功安裝了數(shù)百次,是適用于對(duì)振動(dòng)最敏感的儀器的理想隔振系統(tǒng)。

          優(yōu)勢(shì):

          STACIS 的硬度是空氣隔振器的數(shù)百倍,不受空氣隔振系統(tǒng)的任何限制。沒(méi)有“軟"懸架,而且與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同,STACIS 可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔離系統(tǒng)的工具下方,兩個(gè)系統(tǒng)都經(jīng)過(guò)全面優(yōu)化。

          du特的串行設(shè)計(jì)和專有的高壓壓電技術(shù)
          可實(shí)現(xiàn)從 0.6 Hz 到 150 Hz 的寬活動(dòng)帶寬和wu與lun比的真正主動(dòng)隔振,從 2 Hz 開(kāi)始可減少 90% 的振動(dòng)。

          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

          性能規(guī)格


          主動(dòng)自由度6個(gè)
          有效帶寬0.6 赫茲 - 150 赫茲
          被動(dòng)固有頻率18 赫茲垂直和水平
          有效主動(dòng)諧振頻率0.5赫茲
          1 Hz 時(shí)的隔離40% - 70%
          ≥2 Hz 時(shí)的隔離≥90%
          10 磅(4.5 千克)階躍輸入后的穩(wěn)定時(shí)間(10:1 減少)0.3秒
          內(nèi)部噪音<0.1 納米均方根
          每個(gè)隔離器的工作負(fù)載范圍低容量:182-500 千克(400-1100 磅)
          中容量:410-955 千克(900-2100 磅)
          高容量:864-2045 千克(1900-4500 磅)
          剛度(1000 磅/454 千克質(zhì)量,中等容量隔離器)40,000 磅/英寸 (73 x 10 5牛頓/米)
          從隔離器發(fā)出的磁場(chǎng)最大為 4 英寸(102 毫米)<0.02 μG 寬帶 RMS




          TMC STACIS III 主動(dòng)隔振系統(tǒng)

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