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SMC減壓閥特點
●體積小,重量輕。
● 比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200輸出流量大。
● 比傳統(tǒng)的精密減壓閥IR200溢流流量大。
● 壓力設定。
● 調節(jié)螺釘?shù)凝X間距由傳統(tǒng)的0.75mm改為0.5mm。
● 安裝方便,可用托架立安裝或與現(xiàn)在的模塊式過濾組合元件AF及AFM直接安裝。
● 標準型也帶面板安裝。
● 先導排氣口與主排氣口分開。
● 可在潔凈房使用(特注)。
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