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一、微小流量氣體質量流量控制器產品特點
1、50毫秒內完成穩(wěn)定的控制響應
精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應速度，艾里卡特?質量流量控制器50毫秒內即可到達新的設定值?？焖?、可重復、穩(wěn)定！
擁有可靠的穩(wěn)定性及響應速度，艾里卡特?質量流量控制器總是一擊擊中，為快的質量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測量技術與高速比例控制閥相結合，使得到達設定值的速度遠遠快過您眨一下眼。
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應
? 允許用戶自行調節(jié)PID以獲得的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門孔徑以保證滿量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺設備控制質量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動、無需預熱：1秒內即可開始流量控制
二、微小流量氣體質量流量控制器產品系列
MC 標準系列
控制響應快、穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門為*的無摩擦閥門，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據您的應用需求量身定制閥門。
大限度減小壓損對系統(tǒng)的影響，滿量程壓損低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應用的選擇；大量程：0-500 slpm。點擊這里了解更多關于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結構。 點擊這里了解更多關于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導體行業(yè)系列
可快速、簡易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門設計更是符合半導體行業(yè)標準。MCV系列另增加了后置的氣動截至閥 ，專門用于真空應用。可定制相應的防腐蝕系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 點擊這里了解更多關于半導體行業(yè)系列
*雙向質量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。 點擊這里了解更多關于雙向質量流量&壓力控制器系列
三、微小流量氣體質量流量控制器常用選配項
? 后置閥門，優(yōu)化真空及背壓應用的控制
? 批量控制模式，依靠快速的閥門響應來分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認證1類2區(qū) / ATEX認證1類2區(qū)允許設備用于危險環(huán)境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場合
四、微小流量氣體質量流量控制器性能參數
指標 | 質量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM |
精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
重復性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應時間 | 100ms |
標準狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-* |
測量流量范圍 | 128％（過流率） |
大耐壓 | 145psi |
輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
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