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          目錄:華儀行（北京）科技有限公司>>CIF材料表面處理儀器>>CIF勻膠機(jī)>> CIF Spin Coater勻膠機(jī)
          
		
          
	
          
    	
          
		
          
			
          勻膠機(jī)
          
		
          
		
          
			
		
          
	
          
	
          
		
          
			
          
           				    
            
			        
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								型號
								CIF Spin Coater
							
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								廠商性質(zhì)
								生產(chǎn)商
                            
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								所在地
								北京市
							
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                            $NV_PropertyInfoName.SubString(0,25)                            
          
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			                  國產(chǎn)
			                    			                  			                    			                  價(jià)格區(qū)間
			                  10萬-30萬
			                    			              
          
			                  			                  			                    			              
          
			                  			                  應(yīng)用領(lǐng)域
			                  醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,食品,化工,農(nóng)業(yè)
			                    			                  			          
          
                      Spin Coater勻膠機(jī)進(jìn)行滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高和/或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。動態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉(zhuǎn)/分左右）旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠，“動態(tài)"的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開，減少光刻膠的浪費(fèi)，采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動態(tài)滴膠尤其適用，不會產(chǎn)生針孔。
					
          
					
					
          　　CIF-Spin Coater勻膠機(jī)進(jìn)行滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。粘度比較高和/或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個(gè)基片上都涂到膠。動態(tài)滴膠方式是在基片低速（通常在500轉(zhuǎn)/分左右）旋轉(zhuǎn)的同時(shí)進(jìn)行滴膠，“動態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開，減少光刻膠的浪費(fèi)，采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕（鋪展覆蓋）整個(gè)基片表面。尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動態(tài)滴膠尤其適用，不會產(chǎn)生針孔。
           
          Spin Coater
           
          　　滴膠之后，下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到要求的膜厚，這個(gè)階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能（包括粘度，溶劑揮發(fā)速度，固體含量以及表面張力等）以及基片的大小?？焖傩D(zhuǎn)的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時(shí)間往往能決定膠膜的厚度。
          　　一般來說，勻膠轉(zhuǎn)速快，時(shí)間長，膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多，這些因素在勻膠時(shí)往往相互抵銷并趨于平衡。所以建議給予勻膠過程以足夠的時(shí)間，讓諸多影響因素達(dá)到平衡。
           
          　　Spin Coater勻膠機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：
          　　1.采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長，保證勻膠均勻。
          　　2.5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置)，可選配10個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，多100個(gè)階段。
          　　3.內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。
          　　4、多重安全保護(hù)
          　　電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；蓋子自鎖功能，防止飛片蓋彈開傷人；雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。
          　　5.一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。
          　　6.不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，PTFE旋涂腔體，聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。
          　　7.勻膠機(jī)適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。
           
          　　CIF-Spin Coater勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：
           
                      
                                  
          型號
                                		                        
          轉(zhuǎn)速（轉(zhuǎn)/分）
                                		                        
          轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度
                                		                        
          勻膠時(shí)間
                                		                        
          旋涂基片尺寸mm
                                		                        
          外型尺寸（LxWxH）mm
                                		        
                  
                                  
          SC1
                                		                        
          50-10000
                                		                        
          ±1％
                                		                        
          0-2000S
                                		                        
          圓片Φ5-Φ100,方片大100x100
                                		                        
          310x260x250
                                		        
              
           
          

                                                                                    				
          

			
          
		
          
	
          
	
          
	
	
	 		 
	
          
		
          
			
          
				
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