德國(guó)巴魯夫電容式傳感器*，BALLUFF電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成。當(dāng)薄膜受壓力作用時(shí)，薄膜會(huì)發(fā)生一定的變形，因此，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化，從而使電容發(fā)生變化。但電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系，因此，要用具有補(bǔ)償功能的測(cè)量電路對(duì)輸出電容進(jìn)行非線性補(bǔ)償。
BALLUFF電容式傳感器原理
BALLUFF電容式傳感器也常常被人們稱為電容式物位計(jì)，電容式物位計(jì)的電容檢測(cè)元件是根據(jù)圓筒形電容器原理進(jìn)行工作的，電容器由兩個(gè)絕緣的同軸圓柱極板內(nèi)電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數(shù)為e的電解質(zhì)時(shí)，兩圓筒間的電容量為C=2∏eL/lnD/d，式中L為兩筒相互重合部分的長(zhǎng)度；D為外筒電極的直徑；d為內(nèi)筒電極的直徑；e為中間介質(zhì)的電介常數(shù)。在實(shí)際測(cè)量中D、d、e是基本不變的，故測(cè)得C即可知道液位的高低，這也是巴魯夫電容式傳感器具有使用方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和靈敏度高，價(jià)格便宜等特點(diǎn)的原因之一。
BALLUFF電容式傳感器特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
巴魯夫電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個(gè)10-5 N)，因此所需輸入能量極小，所以特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的 測(cè)量問(wèn)題，例如測(cè)量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)溫度穩(wěn)定性好。巴魯夫傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小，對(duì)穩(wěn)定性影響甚微。
(3)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性強(qiáng)，待測(cè)體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。BALLUFF電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造,可做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量;能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，也能對(duì)帶有磁性的工件進(jìn)行測(cè)量。
(4)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好。由于極板間的靜電引力很小，可動(dòng)部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量，如測(cè)量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，具有平均效應(yīng)。例如非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí),BALLUFF電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙 等對(duì)測(cè)量的影響。
德國(guó)巴魯夫電容式傳感器*常見(jiàn)型號(hào)：
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-050
BCC M313-M423-3E-300-PX0334-050
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-003
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-006
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-015
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-020
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-030
BCC M323-M413-3E-300-PX0334-050
BCC M323-M413-3E-602-PX0334-010
BCC M323-M413-3E-602-PX0334-050
BCC M313-M413-3E-300-VX8334-020
BCC M313-M413-3E-300-VX8334-030
BCC M313-M413-3E-300-VX8334-050
BCC M425-M413-3A-300-PX0334-003
BCC M425-M413-3A-300-PX0334-006
BCC M425-M413-3A-300-PX0334-010
BCC M415-M414-3A-304-VX8434-020
BCC M415-M414-3A-304-VX8434-030
BCC M415-M414-3A-304-VX8434-050
BCC M425-M414-3A-304-VX8434-003
BCC M425-M414-3A-304-VX8434-020
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-006
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-010
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-015
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-020
BCC M313-M413-3E-300-PX0334-030