泰思肯MIRA通用分析型高分辨場發(fā)射掃描電鏡
泰思肯MIRA通用分析型高分辨場發(fā)射掃描電鏡,配置有高亮度肖特基場發(fā)射電子槍,在TESCAN 的 Essence™ 操作軟件的同一個窗口中實現(xiàn)了 SEM 成像和實時元素分析。這種結(jié)合大大簡化了從樣品中獲取形貌和元素數(shù)據(jù)的過程,從而使得MIRA 成為質(zhì)量控制、失效分析和實驗室常規(guī)材料檢測的有效分析解決方案。
突出特點
*集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺,可在 Essence™ 軟件的同一個窗口中實現(xiàn) SEM 成像和實時元素分析;
TESCAN *的無光闌光路設(shè)計及實時電子束追蹤技術(shù)(In-flight Beam Tracing™),可快速獲得的成像和分析條件;
*的大視野光路(Wide Field Optics™)設(shè)計,可實現(xiàn)小放大倍率低至2倍,因而無需額外的光學(xué)導(dǎo)航相機(jī),即可輕松、對樣品進(jìn)行導(dǎo)航;
標(biāo)配的 SingleVac™ 模式,不導(dǎo)電樣品或電子束敏感樣品無需噴鍍即可在此模式下直接進(jìn)行觀察;
直觀的模塊化 Essence™ 軟件,無論用戶的經(jīng)驗水平如何,均可輕松操作;
Essence™ 3D 防碰撞模型,可確保樣品臺和樣品移動時,安裝在樣品室內(nèi)探測器的安全性;
可選配的鏡筒內(nèi) SE 和 BSE 探測器,以及電子束減速技術(shù),更好的提升了低電壓下的成像性能;
標(biāo)準(zhǔn)分析平臺,可選配集成多種類的探測器和附件(如陰極熒光探測器,水冷背散射電子探測器等)。