當(dāng)前位置:馬爾文帕納科>>x射線衍射儀>>半導(dǎo)體專用儀器>> Omega-Theta
Omega/Theta XRD 用于超快速晶體定向和搖擺曲線測(cè)量
10秒內(nèi)完成晶體取向測(cè)定
Omega/Theta XRD為測(cè)定晶面取向提供了良好的綜合精度和速度。Omega/Theta XRD可在短短 10 秒內(nèi)返回結(jié)果,具有從條形碼閱讀器到晶體堆疊支架的許多工藝附件,可容納重量達(dá)30kg、長(zhǎng)度達(dá) 450mm 的一系列樣品。它是將測(cè)量好的取向轉(zhuǎn)移到加工工具的可靠合作伙伴。
精度:在偏角幅度和面內(nèi)方向上達(dá)到<0.003°/<0.03°的精度(1σ)
10秒內(nèi)完成晶體取向測(cè)定
以3D形式自動(dòng)評(píng)估完整晶格取向
用于研究和生產(chǎn)質(zhì)量的控制
晶體取向的方位設(shè)置和標(biāo)記
提供多種附件用于將取向轉(zhuǎn)移到其他工藝步驟
通過(guò)測(cè)角儀實(shí)現(xiàn)未知樣品的的掃描和定向
可使用搖擺曲線測(cè)量進(jìn)行晶體質(zhì)量評(píng)估
用戶友好、性價(jià)比高
樣品處理方便,操作簡(jiǎn)單
用戶友好的高級(jí)軟件
能耗和運(yùn)行成本低
模塊化設(shè)計(jì)和靈活性
通過(guò)各種升級(jí)選項(xiàng)滿足未來(lái)需求
根據(jù)客戶要求為特殊應(yīng)用定制的解決方案
平邊和 V 槽的光學(xué)測(cè)量