SmartSPM原子力顯微鏡（AFM, SPM）

SmartSPM原子力顯微鏡，又稱掃描探針顯微鏡，SPM.

測量模式

l         接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         半接觸式原子力顯微鏡（大氣和液相）

l         真正非接觸式原子力顯微鏡

l         橫向力/摩擦力顯微鏡（LFM）

l         導(dǎo)電原子力顯微鏡

l         磁力顯微鏡（MFM），開爾文探針（Kelvin Probe）

l         電容和靜電力顯微鏡（EFM）

l         高級的納米光刻和納米操作能力

l         音叉原子力顯微鏡

l         掃描范圍：100x100x15um（+ / -10%）

l         掃描類型：樣品

l         XY非線性度： 0.03 %

l         Z非線性度： 0.1 %

l         噪音：

Ø         電容傳感器開，在200Hz帶寬，在XY 0.1nm RMS，

Ø         電容傳感器關(guān)閉，在100Hz帶寬，在XY 0.02nm RMS。

Ø         1000Hz帶寬， < 0.04nm的RMS Z電容式傳感器

l         數(shù)字閉環(huán)控制：X ， Y ，Z軸

l         XY共振頻率： 7KHz（卸載）

l         Z共振頻率： 15 KHz（卸載）

l         主動消除XY相位滯后，過沖和結(jié)圈現(xiàn)象，在快速掃描時無任何動態(tài)圖像失真

l         在掃描器共振頻率上Z控制信號的數(shù)字濾波技術(shù)，實現(xiàn)了極短的穩(wěn)定時間

l         全自動樣品定位：范圍-5 x 5mm，

定位分辨率-1 um