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Vcsel測試解決方案 - 近場測量
高分辨率測量系統(tǒng)
發(fā)現(xiàn)芯片的更多細節(jié)
友好的用戶界面
軟件功能 。圖像上的強度分布 。出口報告和圖像 。為每個不同的測試目標預先保存數(shù)據(jù) 。功能校準 。通過硬件觸發(fā)或連續(xù)抓取 。設置通過閾值 。Mark NG現(xiàn)貨 。ROI選擇
用鼠標選擇 選擇固定大小 將圖像分割為n x m 。測量項目 模具數(shù)量（Pass / NG） 相對強度 模具尺寸 每個模具的質量中心 每個模具的穩(wěn)定性 |
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Vcsel測試解決方案 - 近場測量機制規(guī)格：
尺寸（長x寬x高） | 320 x 320 x 904 [mm] |
重量 | 17KG |
平臺尺寸 | 60 x 102 [mm] |
平臺的行程范圍 | 13 x 13 x 8 [mm] |
平臺的傾斜范圍 | ±3° |
Z軸粗調 | 150mm |
光學系統(tǒng)的技術規(guī)格：
相機類型 | CCD，單色 |
光學格式 | 1” |
分辨率 | 1.2 [μm] |
傳感器分辨率 | 6M |
FOV（10X目標） | 0.95 x 1.25 [mm] |
工作距離 | 30 [mm] |
景深 | 4 [μm] |
濾光片模塊 | OD1-OD9 |
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