日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20
簡單介紹
KASHIYAMA工業(yè)株式會社，多年來致力于真空技術(shù)的研究，不斷開發(fā)進取，在半導體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有*的信譽。尤其在半導體制造領(lǐng)域，獲得了客戶的高度評價與信賴。
日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20維修保養(yǎng)
詳細介紹
KASHIYAMA工業(yè)的干式真空泵系列已經(jīng)成為半導體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標準設備。并，除此之外，魯式及排氣組合式真空泵設備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應用。日本KASHIYAMA干式真空泵SDE20M20維修保養(yǎng)
SDE系列
*高抽速可達200,000 L / min級
適用于大型晶圓/ FPD基板
回應每個過程
值得信賴的真空技術(shù)。 一個多樣化的產(chǎn)品組，具有的動力。
Kashiyama Industry的產(chǎn)品贏得了客戶的廣泛信賴，包括半導體和液晶制造領(lǐng)域。
我們多年來培養(yǎng)的真空技術(shù)已成為這種信任的基礎(chǔ)。
特別是，一系列干式泵已成為半導體制造工藝的標準，是一種可以說是這種真空技術(shù)的高潮的產(chǎn)品，并且得到了客戶的高度贊譽，它在*困難的工藝中表現(xiàn)出*可靠的性能。。
不僅是干泵，還有機械增壓泵，真空排氣設備等。由Kashiyama的真空技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品組在多個領(lǐng)域展示了它的強大功能。
特點
采用優(yōu)良的倉庫性能的立式螺絲
結(jié)構(gòu)材料和溫度設定導致的高耐腐蝕性
| 仕様 / 型式 *1 | SDE1220 | SDE20M20 | SDE30M20 | SDE4060 | SDE4030M20 | SDE8060 | SDE804060 |
| *大排気速度 | 20,000 | 30,000 | 50,000 | 60,000 | 80,000 | 120,000 | 190,000 |
| [L/min] *2 | |||||||
| 到達圧力 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | 0.8 | 0.5 | ||
| [Pa] *2 | |||||||
| 電源電圧 | 3相 AC200～220V, 380～480V | ||||||
| (50/60Hz) | |||||||
| 外観寸法 [mm] | W:400 | W:450 | W:450 | W:750 | W:800 | W:850 | W:1000 |
| W*H*L *3 | H:780 | H:950 | H:950 | H:1200 | H:1580 | H:1220 | H:1980 |
| L:930 | L:1000 | L:1000 | L:1600 | L:1320 | L:1600 | L:1850 | |
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