英國愛德華STP-iXA2206C ISO250F渦輪分子泵

製品概要

STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)，可將小型電源供給集成到機(jī)載控制器內(nèi)（ 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不帶其電源供給 (iPS-1200)）的高度。 這一*集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小，可作為所有應(yīng)用工具的一體化解決方案。愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

用途

• 金屬（鋁）、鎢和電介質(zhì)（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
• 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
• 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
• 濺射
• 離子注入源，射束線泵送和站

  特性與優(yōu)勢(shì)

• 緊湊型設(shè)計(jì)，包括*集成的控制器
• 創(chuàng)新性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
• 數(shù)字化 5 軸控制
• 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%
• 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

  技術(shù)數(shù)據(jù)

  入口法蘭尺寸	ISO250F/VG250/ICF305
  前級(jí)抽氣口尺寸	KF40
  抽速 N2/Ar	2200/1900 ls-1
  壓縮比 N2/H2	>108 / 1 x 104
  極限壓力	10-7 Pa (10-9 Torr)
  允許的前級(jí)壓力	266  Pa (2 Torr)
  大氣流 N2 *（僅水冷）	3000 sccm
  	(5.07 Pam3s-1)
  大氣流 Ar *（僅水冷）	1400 sccm
  	(2.36 Pam3s-1)
  額定速度	27000 rpm
  運(yùn)轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時(shí)間	<8 分鐘
  固定位置	任何方向
  輸入電壓	200-240 V
  大輸入功率（不帶 TMS）	1200 VA
  重量	62 kg

  
  * 大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體，并且使用前級(jí)泵（10,000 l/min 大小）的情況。 它會(huì)隨條件變化而變化。

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溫州臺(tái)州衢州紹興金華寧波余姚福州廈門英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C
泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林南寧英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

烏魯木齊石家莊天津長(zhǎng)春吉林濟(jì)南青島英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

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一、進(jìn)口真空泵維修：
1、BOC EDWARDS(愛德華)：GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特)：ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶)：SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉)：A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA：MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺)：KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克)：U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂)：VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科)：GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安)：DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA（巖田）DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL（漢鐘）PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進(jìn)口真空泵配件銷售：
1、類型：真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉(zhuǎn)子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌：BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進(jìn)口真空油銷售：
品牌：FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。