原裝E+H音叉料位計//E+H固體音叉開關(guān)FTI51-2AA1GEJ45A1A隨著微納制造技術(shù)飛速發(fā)展，對與之相關(guān)的微納檢測技術(shù)提出了 更高要求，體現(xiàn)在測量范圍、測量精度和測量速度等方面。原子力顯微術(shù)（AFM）是微納檢測技術(shù)中的一項重要方法，可以實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)器件的表面形貌檢測，分辨 力能達到納米級。測頭與大范圍高精度定位平臺相結(jié)合實現(xiàn)毫米級測量范圍和納米級分辨力的動態(tài)AFM是近年來AFM發(fā)展的一大熱點。本文在充分調(diào)研動態(tài) AFM研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢的基礎(chǔ)上，將自感應(yīng)音叉測頭與大范圍納米定位平臺（NMM）相結(jié)合，構(gòu)建了一套可以在多種工作模式下使用的動態(tài)AFM測量系統(tǒng)。 論文主要完成的工作包含以下幾個方面：1.從音叉探針的結(jié)構(gòu)特點入手解釋其工作原理。建立音叉探針的力學(xué)模型，得到了探針的兩個諧振頻率并討論了音叉探針 工作頻率的選擇問題。構(gòu)建音叉探針的電學(xué)模型，分析了內(nèi)部寄生電容對音叉探針的影響。介紹了動態(tài)AFM三種工作模式的原理并討論了不同工作模式的特點。 E+H FTI51-2AA1GEJ45A1A L=200MM
E+H FTL50H-ATE2AC2G6A
E+H FTM31-A4DA1A, L=600mm
E+H FTM51-AGG2L2A72AAL=2000MM
E+H FTL51-DGR2DB4G5A
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=3M
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=6M
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA   L=15M
E+H FTL50-KGM2AA4E5A
E+H FTL20-002B
E+H FTL51-AGQ2BB4G5A L=150MM
E+H FTE30-EBB1 L=200MM
E+H FMP40-1KK2APJB211A L=1M
E+H FTL20H-0TDJ2
E+H FTW325-A2B1A
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL51-AGR2BB4F5A L=680MM
E+H FTL51-AGR2DB4G5A L=118MM
E+H FTM50-AGJ2A4A32AA
E+H FTM20-AN43A
E+H FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FMR230-A6VC6JBA2A
E+H FMX167-A1AME1B1
E+H DB52-GL10BB11GG20 L=2.5M
E+H FTL50-AGM2AA4G4A
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA L=30M
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL51-KGR2BB4G5A  L=150MM
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝1100
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝700
E+H FTM51-XAF2L7A72AA L=500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2500MM
E+H FTL325P-M1E1
E+H FMI51-L2EB0JB5A1A L1=450MM L3=250MM
E+H FMR245-A4CMKAA2A
E+H FTM50-AGG2A4A32AA
E+H FMI51-A1BGEJB3A1A L＝380MM
E+H FTL50-DGQ2AA4G5A
E+H 942261-0000 /FEC12
E+H FMI51-A1BGEJB3A1A L＝800MM
E+H FMI51-A1ARCJA1A1A L=1800MM
E+H DC11TEN-AA11D1BK41, L=1600MM
E+H FMI51-A1AREJB1C1A L=1600MM
E+H FMX167-A3ABE1B7
E+H FTM52-AGG2C4A12AA  L=800MM
E+H FTL260-0020
E+H FTL20-0120
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA
E+H FMP40-ABB2GRJH21AA L=17500MM
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL20H-OMNJ2F
E+H FTL50H-ATE2AC2G6A
E+H FTL50-KAE2AA4G5A
E+H FTL51-KAE2BB4G7A  L=300MM
E+H FMR240-A3V1CMJAA4A
E+H FMR250-A5E1XCJAA2K
E+H FTC325-A2A31
E+H FMI51-A9AGEJB3A1A
E+H FTM50-AGG2A1A32AA
E+H FTW325-C2A1A
E+H FMR230-14VAVJAA4A2.開發(fā)了小型自感應(yīng)音叉測頭。設(shè)計了信號處理電路，實現(xiàn)了音叉探針信號的放大濾波和寄生電容的補償。將小型自感應(yīng)音叉測頭與NMM結(jié)合，搭建了一套大范 圍的AFM測量系統(tǒng)，并且保證了測量結(jié)果的溯源性。設(shè)計了以DSP為核心的數(shù)字PI反饋控制系統(tǒng)，制作了一臺反饋信號控制器。測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)多種測量模 式，各種測量模式之間可以通過控制器上的模式切換開關(guān)實現(xiàn)快速切換而不需要改變線路的連接情況。3.通過提取音叉探針內(nèi)部納安級微弱電流的實驗得到了激勵 電壓與音叉探針電流的關(guān)系。利用顯微激光多普勒測振法測量音叉探針的機械振幅，實現(xiàn)了音叉探針機電耦合系數(shù)的標(biāo)定。討論了溫度和外界振動對音叉探針的品質(zhì) 因數(shù)、諧振頻率等參數(shù)的影響。測試了反饋控制模塊的性能。使用AFM測量系統(tǒng)在頻率調(diào)制和相位調(diào)制兩種工作模式下完成了對標(biāo)準(zhǔn)柵格結(jié)構(gòu)測量，驗證了測量系 統(tǒng)的可行性。

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