E+H音叉料位計(jì)\恩德斯豪斯音叉開關(guān)FTL50-AGQ2AA4G5A水泥生產(chǎn)機(jī)械,尤其主機(jī)多為重型設(shè)備,如破碎機(jī)、回轉(zhuǎn)窯、輥壓機(jī)、磨機(jī)、選粉機(jī)以及它們的驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)和減速器等。這些設(shè)備的軸承潤滑和冷卻是確保其安全、 正常運(yùn)轉(zhuǎn)的重要條件,所以稀油潤滑裝置的連續(xù)、可靠運(yùn)行的重要性,自不待言。為此,人們?yōu)槠湓O(shè)置了各種保護(hù)裝置,以期提高運(yùn)行可靠性,確保主機(jī)安全運(yùn)轉(zhuǎn)。 然而,因潤滑系統(tǒng)故障導(dǎo)致的設(shè)備軸承損傷等事故時(shí)有發(fā)生,成為影響主機(jī)安全運(yùn)轉(zhuǎn)的zui重要原因之一。每次此類事故,往往導(dǎo)致生產(chǎn)線長時(shí)停運(yùn)和嚴(yán)重經(jīng)濟(jì)損失。

隨著微納制造技術(shù)飛速發(fā)展，對與之相關(guān)的微納檢測技術(shù)提出了 更高要求，體現(xiàn)在測量范圍、測量精度和測量速度等方面。E+H音叉料位計(jì)\恩德斯豪斯音叉開關(guān)FTL50-AGQ2AA4G5A原子力顯微術(shù)（AFM）是微納檢測技術(shù)中的一項(xiàng)重要方法，可以實(shí)現(xiàn)微結(jié)構(gòu)器件的表面形貌檢測，分辨 力能達(dá)到納米級。測頭與大范圍高精度定位平臺相結(jié)合實(shí)現(xiàn)毫米級測量范圍和納米級分辨力的動(dòng)態(tài)AFM是近年來AFM發(fā)展的一大熱點(diǎn)。本文在充分調(diào)研動(dòng)態(tài) AFM研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢的基礎(chǔ)上，將自感應(yīng)音叉測頭與大范圍納米定位平臺（NMM）相結(jié)合，構(gòu)建了一套可以在多種工作模式下使用的動(dòng)態(tài)AFM測量系統(tǒng)。 論文主要完成的工作包含以下幾個(gè)方面：1.從音叉探針的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)入手解釋其工作原理。建立音叉探針的力學(xué)模型，得到了探針的兩個(gè)諧振頻率并討論了音叉探針 工作頻率的選擇問題。構(gòu)建音叉探針的電學(xué)模型，分析了內(nèi)部寄生電容對音叉探針的影響。介紹了動(dòng)態(tài)AFM三種工作模式的原理并討論了不同工作模式的特點(diǎn)。E+H FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FMR250-A5E1GNJAA4M
E+H FTL260-0120
E+H FTM30-A4AA1, L=230mm
E+H FMR240-A2V1CQJBA2A
E+H FMR240-A5V1GGJAA4A
E+H FTM260-G4B
E+H FTC260-AA4B1
E+H FMR250-A5E1XCJAA3K
E+H FTM30-A4DB1
E+H FTL51-AGR2DB4G5A L=118MM
E+H FTM50-AGJ2A4A52AA
E+H FTM21-AG345A
E+H FTL50-AGN2AA2G4A
E+H FMP40-7AA2GRJB11HA  L=4150MM
E+H FTL20-002D
E+H FTC260-AA4D1
E+H FTW325-A2A1A
E+H FMR230-44ECQJAC2A
E+H FTC262-AA14D1, L=1000MM
E+H FTL361-RGR2AA1R, L=500MM
E+H FMP40-AAA2CRJB21AA  L=4M
E+H DC11TEN-AA11D1BK41,L=1600MM
E+H DB101-G1TE205Z 纜長為6M
E+H DB50-AC20BB12EG10
E+H FTW325-C2A1A
E+H RN221N-A1
E+H FTI51-2AA1GEJ45A1A L=200MM
E+H FTL50H-ATE2AC2G6AE+H音叉料位計(jì)\恩德斯豪斯音叉開關(guān)FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FTM31-A4DA1A, L=600mm
E+H FTM51-AGG2L2A72AAL=2000MM
E+H FTL51-DGR2DB4G5A
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=3M
E+H FTM52-AGG2B4A32AA L=6M
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA   L=15M
E+H FTL50-KGM2AA4E5A
E+H FTL20-002B
E+H FTL51-AGQ2BB4G5A L=150MM
E+H FTE30-EBB1 L=200MM
E+H FMP40-1KK2APJB211A L=1M
E+H FTL20H-0TDJ2
E+H FTW325-A2B1A
E+H FTL51-AGR2DB4G5A
E+H FTL51-AGR2BB4F5A L=680MM
E+H FTL51-AGR2DB4G5A L=118MM
E+H FTM50-AGJ2A4A32AA
E+H FTM20-AN43A
E+H FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FMR230-A6VC6JBA2A
E+H FMX167-A1AME1B1
E+H DB52-GL10BB11GG20 L=2.5M
E+H FTL50-AGM2AA4G4A
E+H FMP40-ABB2GRJB21AA L=30M
E+H FTL51-AGR2DB4G5AE+H音叉料位計(jì)\恩德斯豪斯音叉開關(guān)FTL50-AGQ2AA4G5A
E+H FTL51-KGR2BB4G5A  L=150MM
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝1100
E+H FTI56-AAC1RV142C1A  L＝700
E+H FTM51-XAF2L7A72AA L=500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=1500MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2000MM
E+H FTM51-XAF2L7A72AA  L=2500MM 2.開發(fā)了小型自感應(yīng)音叉測頭。設(shè)計(jì)了信號處理電路，實(shí)現(xiàn)了音叉探針信號的放大濾波和寄生電容的補(bǔ)償。將小型自感應(yīng)音叉測頭與NMM結(jié)合，搭建了一套大范 圍的AFM測量系統(tǒng)，并且保證了測量結(jié)果的溯源性。設(shè)計(jì)了以DSP為核心的數(shù)字PI反饋控制系統(tǒng)，制作了一臺反饋信號控制器。測量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)多種測量模 式，各種測量模式之間可以通過控制器上的模式切換開關(guān)實(shí)現(xiàn)快速切換而不需要改變線路的連接情況。3.通過提取音叉探針內(nèi)部納安級微弱電流的實(shí)驗(yàn)得到了激勵(lì) 電壓與音叉探針電流的關(guān)系。利用顯微激光多普勒測振法測量音叉探針的機(jī)械振幅，實(shí)現(xiàn)了音叉探針機(jī)電耦合系數(shù)的標(biāo)定。討論了溫度和外界振動(dòng)對音叉探針的品質(zhì) 因數(shù)、諧振頻率等參數(shù)的影響。測試了反饋控制模塊的性能。使用AFM測量系統(tǒng)在頻率調(diào)制和相位調(diào)制兩種工作模式下完成了對標(biāo)準(zhǔn)柵格結(jié)構(gòu)測量，驗(yàn)證了測量系 統(tǒng)的可行性。E+H音叉料位計(jì)\恩德斯豪斯音叉開關(guān)FTL50-AGQ2AA4G5A

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