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詳細(xì)介紹
基準(zhǔn)級(jí)微壓活塞壓力計(jì)，提供微壓溯源性
FPG8601是基準(zhǔn)級(jí)微壓活塞壓力計(jì)，解決了活塞式壓力計(jì)在微小壓力范圍內(nèi)以極小的不確定度提供長(zhǎng)期溯源性的需求。
優(yōu)異的測(cè)量不確定度
該系統(tǒng)在表壓和絕壓模式下覆蓋的量程均為0（絕壓為0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。測(cè)量不確定度為讀數(shù)的±30 ppm與一個(gè)非常小的門限誤差的組合，足夠小以能夠校準(zhǔn)量程低達(dá)130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各種微壓傳遞標(biāo)準(zhǔn)。 DHI有一份完整的不確定度分析報(bào)告（請(qǐng)參見(jiàn)DHI技術(shù)文章 2090TN05）說(shuō)明FPG8601的測(cè)量不確定度。該儀器的穩(wěn)定度取決于碳化鎢活塞組和不銹鋼砝碼，所以FPG8601的校準(zhǔn)間隔與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，并沒(méi)有其它特殊的維護(hù)要求。除了的計(jì)量性能外，F(xiàn)PG8601還實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)控制；合理的尺寸和重量，在典型的計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下均可正常工作，沒(méi)有額外要求。
支持表壓、絕壓和絕差壓測(cè)量
FPG8601支持三種不同的測(cè)量模式：
- 表壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測(cè)試的“低”側(cè)連接在一起，并和環(huán)境大氣壓相同。
- 絕壓模式：FPG8601的下方壓力室被抽成真空，并用真空計(jì)測(cè)量殘留真空。這種模式用于校準(zhǔn)密封絕壓的DUT。
- 絕差壓模式：把FPG8601的下方壓力室和測(cè)試的“低”測(cè)連接在一起并抽成真空。這種模式用于校準(zhǔn)相對(duì)于真空的差壓被檢對(duì)象。
此外，F(xiàn)PG8601沒(méi)有特殊環(huán)境要求，可安裝在2m長(zhǎng)的高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。壓力控制器常常安裝在試驗(yàn)臺(tái)下方。當(dāng)需要使用絕壓功能時(shí)，需要考慮真空泵的位置。如果需要，可以隨系統(tǒng)提供定制的安裝臺(tái)。其工作環(huán)境要求為典型的計(jì)量實(shí)驗(yàn)室環(huán)境
技術(shù)資料 | |
| 電源要求 | FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，zui大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，zui大70 VA |
| 正常工作溫度范圍 | 20～26 ℃ |
| 環(huán)境溫度穩(wěn)定性 | 0.1 ℃/每分鐘，zui大變化率 |
| 重量 | FPG8601平臺(tái)：30 kg (66 lb) FPG8601 終端： 2 kg (4.4 lb) |
| VLPC壓力控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
| 尺寸 | FPG8601平臺(tái)：53 cm 高×36 cm 寬×35 cm 深 FPG8601終端：12 cm 高×15 cm 寬×20 cm 深 VLPC 壓力控制器：31 cm 高×51 cm 寬×53 cm 深 |
| 系統(tǒng)控制器 | 運(yùn)行FPG Tools，Windows操作系統(tǒng)， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的數(shù)據(jù) |
| 全壓力量程 | 0～15 kPa表壓、絕壓、絕差壓 |
| 測(cè)試介質(zhì) | 氮?dú)饣蚩諝?/td> |
| 模式轉(zhuǎn)換時(shí)間 | 絕壓至表壓模式：30分鐘 表壓至絕壓模式：1小時(shí) |
| 振動(dòng) | 與傳統(tǒng)的活塞式壓力計(jì)相同，真空泵必須用軟管連接 |
| 壓力供給 | 活塞－套筒潤(rùn)滑氣(FPG8601)：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)饣蚩諝?/td> |
| FPG參考真空（絕壓模式）：渦輪泵：典型值為378 m3/h，極限壓力為8.10-6 Pa | |
| 回轉(zhuǎn)式葉片泵：16.5 m3/h，極限壓力為0.2 Pa | |
| VLPC壓力源：700～800 kPa，清潔、干燥的氮?dú)?/td> | |
| VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa | |
| 驅(qū)動(dòng)氣（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 壓縮空氣 | |
| 壓力連接 | 測(cè)試高（FPG8601）：KF16 測(cè)試低（FPG8601）：KF16 真空參考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)/潤(rùn)滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 壓力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驅(qū)動(dòng)（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25 |
壓力測(cè)量 | |
| 全量程 | 0～15 kPa 表壓、絕壓、絕差壓 |
| 溫度影響 | 監(jiān)測(cè)儀器溫度，并在溫度變化的速率和大小對(duì)性能影響明顯時(shí)，發(fā)出報(bào)警。 |
| 分辨力 | 標(biāo)準(zhǔn)：0.010 Pa 高分辨力選件：0.001 Pa |
| 典型壓力測(cè)量 不確定度 | 標(biāo)準(zhǔn)： 表壓、絕差壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) |
| 高分辨力選件： 表壓、絕差壓模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) 絕壓模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 讀數(shù)) | |
| 模式下的典型殘留真空 | 用渦輪分子泵：0.04～0.1 Pa 用回轉(zhuǎn)式葉片泵：0.3 Pa～0.4 Pa |
壓力控制 | |
| 控制范圍（Pa） | 表壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 zui小壓力：0 zui小受控壓力：0.1 Pa |
| 絕壓模式：5個(gè)交疊的控制范圍 zui小壓力：0.4～1 Pa zui小受控壓力：2 Pa | |
| 控制精度 | 標(biāo)準(zhǔn)： 表壓模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 絕壓模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力選件： 注：控制精度為zui差情況。絕壓模式在較低范圍時(shí)的常數(shù)更小。 |
| 標(biāo)稱測(cè)試容積 | 表壓模式：zui高20 cc/側(cè)（高和低） 絕壓模式：zui高500 cc/側(cè)（高和低） 壓力穩(wěn)定時(shí)間：1～2分鐘，取決于測(cè)試容積 |
活塞模塊 | |
| 標(biāo)稱尺寸 | 直徑：35 mm 面積：10 cm2 |
| 活塞材料 | 碳化鎢 |
| 套筒材料 | 碳化鎢 |
| 安裝系統(tǒng) | 非旋轉(zhuǎn)，獨(dú)立自定心，中央供氣，潤(rùn)滑壓力 |
| 活塞－套筒間隙 | 對(duì)稱圓錐形間隙，雙錐形，在中央潤(rùn)滑點(diǎn)為6微米，在活塞末端為1微米 |
| 潤(rùn)滑氣體質(zhì)量 | 清潔、干燥的氨氣或空氣，內(nèi)部調(diào)整為40～70 %相對(duì)濕度 |
| 潤(rùn)滑氣體壓力 | 表壓模式：40 kPa表壓 絕壓模式：40 kPa 絕壓 潤(rùn)滑氣流量：< 1 sccm 至高和低壓力室 |
輔助測(cè)量 | |
| 活塞－缸體溫度(℃) | 范圍：0～40 分辨率：0.01 不確定度：± 0.1 |
| 殘留真空(Pa) | 范圍：0 ～ 13 分辨率：0.001 不確定度：± (0.5 % 讀數(shù) + 5 MPa) |
監(jiān)控測(cè)量 | |
| 潤(rùn)滑氣體溫度(℃) | 范圍：0 ～ 40 分辨率：0.1 不確定度：± 0.2 |
| 潤(rùn)滑氣壓力(kPa) | 范圍：0 ～ 200 絕壓 分辨率：0.001 不確定度：± 0.1 |
| 潤(rùn)滑氣濕度(%RH) | 范圍：5 ～ 95 分辨率：1 不確定度：± 10 |
| FPG8601-SYS | 具有標(biāo)準(zhǔn)分辨率的微壓塞式壓力計(jì)系統(tǒng) |
通用配件:
| 配件 | 描述 |
|---|---|
| FPG8601-MODE-V-REF | 真空參考模式 |
| MS-8601-2 | 2.0kg 砝碼套件，帶掛鉤 |
| BENCH-8601-ABS | FPG8601工作臺(tái) |
| FPG8601-RES-HIGH | 高分辨率 (1 mPa) |