產(chǎn)品簡介
詳細介紹
技術(shù)規(guī)格(Specifications)
(一)半導體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測量儀主機:
(1)主機使用高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計理念,自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器運行;
(2)成像部分使用高性能日本*工業(yè)機芯及無失真遠心鏡頭確保成像效果。
(3)工業(yè)級可調(diào)LED單波長冷光源系統(tǒng),成像更清晰
(4)自動位移平臺,實現(xiàn)Y、Z自動定位測量,定點地位更精確,測量效率更高
規(guī)格:
- 主機外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高)
- 主機凈重:55KG
- 工作臺面尺寸:420mm*420mm
- 工作臺移動:
前后移動 自動,行程160mm,精度0.01mm
上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm
- 進樣器移動:自動上下60mm(自動); 左右30mm
- 工業(yè)鏡頭移動:前后30mm(微調(diào)3mm)
- 工業(yè)鏡頭:0.7X *-4.5X高清遠心連續(xù)變倍變焦顯微鏡
- CCD:SONY*高速工業(yè)級芯片;60幀/S
- 鏡頭角度可調(diào)試:仰視、平視、俯視多視角觀察
- 光源:LED可調(diào)節(jié)藍色基調(diào)工業(yè)級冷光源;使用壽命達貳萬伍仟小時以上
- 電源及功率:220V / 60HZ
(二)半導體芯片晶圓Wafer潔凈度接觸角測量儀分析軟件:
(1)*進的接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法(一鍵自動擬合,不存在人工誤差)包括:
圓法擬合(Circle method)(適用于低角度接觸角測量)
橢圓/斜橢圓擬合法(Ellipse/Oblique ellipse)(適用于高角度接觸角擬合)
LY(應(yīng)用于120°以上高角度接觸角測量)
微分橢圓法/微分圓法(Differential circle / Differential ellipse)(應(yīng)用于不規(guī)則液滴形態(tài)接觸角的擬合)
- 動態(tài)接觸角擬合包括:
潤濕性能測試(Wettability)(應(yīng)用于慢性吸收材料、潤濕材料的表面吸收或潤濕性能測試,批量處理)
視頻擬合(Video analysis)(應(yīng)用于吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試,視頻動態(tài)處理)
- 動態(tài)表面/界面張力測量(Measurement of dynamic surface / interfacial tension)(測量液體整個過程的張力變化趨勢,更準確的判定其真實的表面/界面張力)
- 表面能量計算(Surface energy)(使用主流的多種表面能計算方式測量對固體表面能量進行分析)
- 粘附功(Adhesion work)
- 數(shù)據(jù)報告(Data report)(支持WORD、Excel類型數(shù)據(jù)報告,自動生成晶圓模式數(shù)據(jù)譜圖)
規(guī)格:
- 接觸角測量范圍:0-180°
- 接觸角測量精度:±0.1°
- 表界面張力測量范圍:0-2000mN/m;測量精度:0.01 mN/m
- 高精度自動滴液系統(tǒng):軟件高精度滴液系統(tǒng);滴液精度:0.0 1μl
- 一鍵式多點測量(可多次循環(huán)):自動進樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個點位
- 可針對不同樣品設(shè)置測量方案并可保存,方便下次再次測量同一類樣品時直接調(diào)取測量
四·產(chǎn)品特點(Product features)
- 專業(yè)級的高精度注射系統(tǒng),全電腦控制,液滴控制精度可達0.01μl
- Y軸自動位移,平臺自動旋轉(zhuǎn),可一次測量多個已設(shè)置點并給出對應(yīng)測量數(shù)據(jù),實現(xiàn)全自動化測量
- 工業(yè)級可調(diào)LED冷光源系統(tǒng)(壽命25000H以上),更清晰的成像,同時避免額外熱度所導致的小液滴揮發(fā)
- 采用高性能日本*工業(yè)機芯,無失真遠心鏡頭,確保成像效果。
- 采用USB2.0標準接口,數(shù)據(jù)傳輸速度快,兼容性高
- 高強度航空鋁合金結(jié)構(gòu),模塊化設(shè)計理念,可配置各種常用測量附件
- 自主研發(fā)的集成芯片電路控制,保證儀器運行
- 多種輔助模塊選取,滿足更多的外部測試條件
- 光學系統(tǒng)頂式法,適合超低角度測量和疏水材料測量
- 多種接觸角分析方法,更適合多種材料接觸角測量
- 采用計算方法,能夠自動識別基準線及輪廓線,無人為誤差
- 高速全自動操作測量,且直觀讀取數(shù)據(jù)結(jié)果,有圖有真相,有擬合痕跡,測流量結(jié)果是否準確一目了然
- 表面接觸角分析模塊,更簡捷的操作,更準確的結(jié)果
- 視頻快速測試數(shù)據(jù),可連續(xù)性進測試接觸角形態(tài)變化
- 一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭; 【測試】--精準的控制滴液-自動接液-高精度的進行全自動測量-測量完畢后自動更換測量位置直至整個原設(shè)置好的測量方案運行結(jié)束
儀器應(yīng)用領(lǐng)域
TFT-LCD面板行業(yè):玻璃面板潔凈度與鍍膜質(zhì)量測量;TFT打印電路、彩色濾 光片、 ITO導體膠卷等前涂層質(zhì)量測量
印刷、塑膠行業(yè):表面清潔與附著質(zhì)量測量;油墨附著度測量;膠水膠體性質(zhì)相容性測量;染料的緊扣度
半導體產(chǎn)業(yè):晶圓的潔凈度測量;HMDS的處理控制;CMP的研究測量、光阻與顯影劑的研究
化學材料研究:防水與親水性能材料研究探討;表面活性與清潔劑的張力、濕性;黏性增強與附著表面能測量
IC封裝:基質(zhì)表面潔凈度;原子合成氧化識別;BGA焊接表面;環(huán)氧化物的附著度測量
光學接觸角測量儀:是一種簡單、快速、靈敏的方法測量固體表面的潤濕性。且可間接測量固體表面能與液體表面張力。