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OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱，大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。

技術參數(shù)

爐體結構	兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體高工作溫度1200℃
	每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
	一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動
	儀器中配有不銹鋼密封法蘭
總功率	2.5KW
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關）
高工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
加熱&冷卻速率	加熱速率:	冷卻速率:	注意:
	15°C/sec (RT - 150°C);	15°C/sec (1000 - 950°C);	大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現(xiàn)的，將爐體加熱到目標溫度，然后滑動爐體到樣品位置來實現(xiàn)快速加熱。對樣品加熱后，滑動爐體，使樣品暴露在加熱區(qū)外，來實現(xiàn)快速冷卻
	10°C/sec (150°C - 250°C);	10°C/sec (950°C - 900°C);
	7°C/sec (250°C - 350°C);	7°C/sec (900°C - 850°C);
	4°C/sec (350°C - 500°C);	4°C/sec (850°C - 750°C);
	3°C/sec (350°C - 550°C);	2°C/sec (750°C - 600°C);
	2°C/sec (550°C - 650°C);	1.5°C/sec (600°C - 500°C);
	1°C/sec (650°C - 800°C);	1°C/sec (500°C - 400°C);
	0.5°C/sec (800°C - 1000°C);	0.5°C/sec (400°C - 300°C);
加熱區(qū)長度	每個爐體的加熱區(qū)為200mm
恒溫區(qū)	60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金
爐管	高純石英管
	尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
溫度控制系統(tǒng)	兩個爐體都采用PID方式來調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序。
	控溫儀表操作視頻
	設置有超溫和斷熱偶報警
	包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上）
	可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫
真空法蘭	儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表
	可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數(shù)顯真空計
滑軌長度	1200mm
真空度	10E-5 torr（采用分子泵）
	10E-2 torr（采用機械泵）
	可在本公司選購真空泵
可選	可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率
	1-9通道質量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
	100W-500W的射頻等離子源
	這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)
尺寸	1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌）
凈重	約80kg
質保期	一年質保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件）
質量認證	CE認證
	所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證
	本公司保證此設備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用）
使用注意事項	爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
	由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
	進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
	當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

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上海添時科學儀器有限公司

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