當(dāng)前位置:上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>高真空CVD系統(tǒng)>> GSL-1700X-HVC1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)
殼體
· 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
· 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上,方便移動(dòng).儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭,閥門,高真空機(jī)組
爐管
· 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管
· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上
· (標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L
功率
6KW工作電壓 AC 208-240V單相, 50/60Hz
加熱元件
8 根1800°C grade MoSi2 heating element
工作溫度
· 最高工作溫度.: 1650°C(<2h) 連續(xù)工作溫度.: 1600°C
升溫速率
≤5°C/min
加熱區(qū)長(zhǎng)度
加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18")
溫控系統(tǒng)
· 采用PID方式自動(dòng)控制,并可設(shè)置30段升降溫程序
· 控溫精度: ±1°C
· 熱電偶: B 型,已經(jīng)安裝在爐內(nèi)
真空法蘭
· 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝
· 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表
· 兩個(gè)精密針閥
· 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個(gè)1/4"卡套接頭
外形尺寸
550 x 380 x 520mm
功率
100~110W
工作電壓
AC 208-240V單相, 50/60Hz
外形尺寸
600(L) x 600(W) x 700(H), mm
高真空機(jī)組殼體
· 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
· 最大承載量: 600 Lbs on top
· 分子泵控制面板: LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany:
控制面板
· 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后,啟動(dòng))
· 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率:根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率
抽氣速率
· N2 33 L/s· He 39 L/s (2340L/minute)H2 32 L/s
工作范圍
1000 mbar to <1E-7 mbar
極限
<1E-8 mbar (without any leaking )
質(zhì)量流量控制器殼體
· 采用 316不銹鋼制作
· 混氣箱尺寸: Φ80X120mm
· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據(jù)客戶要求定制
功率
18W
工作電壓
AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件