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CVD氣相沉積的材料特性和功能特點介紹
CVD氣相沉積采用雙層殼體結構和40段程序控溫系統(tǒng)，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料，管式爐雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，能快速升降溫，采用99剛玉管、兩端用不銹鋼法蘭密封，用浮子流量計控制進氣流量、該爐具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。適用于銅鎢合金、鋁鎳鈷永磁、釹鐵硼、碳纖維石墨化，碳碳復合材料，碳化硅制品，鎢鉬及其他合金材料的真空或氣氛高溫燒結，也可作為其他金屬材料的熱處理及氣相沉積。
CVD氣相沉積爐管為定制下細上粗不銹鋼管，爐管內(nèi)部配置一嵌有一多孔石英板的石英舟，石英板的孔徑可單獨定制。粉末可放在多孔石英板上，氣體從下而上穿過粉末顆粒，當氣流速度達到或超過顆粒的臨界流速時料層中顆粒呈上下翻騰，在一定溫度和氣氛下，充分反應沉積。
CVD氣相沉積的功能特點：
1、采用純微波加熱、~傳統(tǒng)電加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內(nèi)的非易燃易爆材料，
2、升溫速率快，智能控溫，可分段設置，控溫穩(wěn)定度好，熱慣性小。同時加熱多個溫區(qū)，且加熱區(qū)長度可調。
3、可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴散泵和分子泵，可達真空狀態(tài)。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結構）；
5、保護管采用合金管，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風扇，降低溫度；
7、真空系統(tǒng)：機械泵擴散泵和分子泵，真空密度計
8、可通過電腦全程監(jiān)控和調試。