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導電材料四探針技術參數(shù)與操作
閱讀:3582發(fā)布時間:2020-8-3
導電材料四探針技術參數(shù)與操作
(1.0×10-6 ~ 20.00×103Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
顯示: 4位數(shù)字顯示,小數(shù)點自動顯示
四探針測試探頭:
電阻率:當某種材料截成正方體時,平行對面間的電阻值只與材料的類別有關,而與正方形邊長無關,這種單位體積的阻值可反映材料的導電特性,稱為電阻率(體電阻率),記為:ρ,標準單位:Ω-m,常用單位Ω-cm.
直徑:SZT-A圓測試臺直接測試方式 Φ15~130mm,手持方式不限
薄片電阻率測量:
在半導體類電阻率或方阻測試中,如果修正系數(shù)計算值遠小于1,為了顯示讀取更多有效數(shù)字,數(shù)據(jù)輸入可采用準科學記數(shù)法,即有效數(shù)字取0.100≤X≤1.000,指數(shù)(單位)取值10-3~103。
測量數(shù)據(jù)
誤差:±0.2%FSB±2LSB
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭和測試臺等三部分組成。
電阻率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω-cm
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試。
主機 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm(高)
數(shù)字電壓表:
工作室內應無強電磁場干擾,不與高頻設備共用電源。
棒狀、塊狀樣品電阻率測量,符合半無窮大的邊界條件:
溫度: 0-40℃
SZT-B/C/F方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
相對濕度: ≥60%
設定修正系數(shù)注意事項:參照表5.1和附表1和附表2
外形尺寸:
本產品不但提供了電阻率ρ、方塊電阻R口以及體電阻R測試的基本修正系數(shù)設定,還提供了產品厚度G、外形和測試位置的修正系數(shù)D設定,及大的提高了測試精度。測試類別的快捷選擇方式,方便了用戶同時測試多個參數(shù),提高測試效率。
修正系數(shù)
技術參數(shù)測量范圍、分辨率(括號內為拓展量程,可定制)
注意!測量狀態(tài)中,電流量程默認為自動方式,也可調整為手動方式,手動方式下,電流量程適合的,儀器會穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù),電流量程不適合的會給出超量程或欠量程閃爍提示,對于超量程,說明電流過大,要調到較小電流檔;對于欠量程,說明電流過小,要調到較大電流檔。
BEST-300C測試儀能夠測量半導體材料體電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R口以及體電阻R,測量時需調整相應的修正系數(shù)和選擇相應的功能。
電源:功 耗:< 15W,輸入:220V±10% 50Hz±2%
設定電阻率基本系數(shù)□:,參照表5.1,厚度修正G忽略,形狀位置修正D<1.000, D(d/S)要查附表2,只讀結果。
數(shù)據(jù)輸入規(guī)則說明及示例
操作概述:
電阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103Ω, 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω
數(shù)控恒流源
概述BEST-300C型材料電導率測試儀是運用四探針測量原理測試試導體、半導體材料電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
電阻率ρ=R口×W×D(d/S),式中W:樣品厚度(cm), D(d/S)查附表2。
材料尺寸(由選配測試臺和測試方式決定)
對于電阻器類樣品,用四端子測試線按照圖5-1連接好樣品,對于半導體材料,測試前表面應進行必要的處理。如圖5-2,對于硅材料要進行噴砂或清潔處理,對于薄膜類的要保持表面清潔,必要的要進行清潔。樣品放在平整的臺面上。將測試探頭的插頭與主機的輸入插座連接起來,連接好探頭和主機。將電源開關置于開啟位置,數(shù)字顯示亮。儀器醉好預熱15分鐘以上,增加讀數(shù)穩(wěn)定性。
電流輸出:直流電流0.1μA~1.0A,系統(tǒng)自動調整。
探頭選配:根據(jù)不同材料特性需要,探頭可有多款選配。有高耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ITO膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻進行測量。配探頭,也可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻。
測試準備:
方塊電阻:50.0×10-6 ~ 1.0×106 Ω/□分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 Ω/□
設定電阻率基本系數(shù)C,參照表5.1, 厚度修正G=1.000,形狀位置修正D=1.000,只讀結果。
本儀器工作條件為:
當薄片厚度與針距比W/S<0.5時,可以先測方阻,再人工計算厚度和位置形狀修正。
方塊電阻:薄膜類導體、半導體材料截成薄層正方形時,平行對邊間的電阻值只與材料的類別(電阻率)和厚度有關,而與正方形邊長無關,這種單位面積的對邊間的阻值可反映薄膜的導電特性和厚度信息,稱為方塊電阻,簡稱方阻。記為:R□,標準單位:Ω/□
在設定模式下(設定完畢,保存好數(shù)據(jù)后),選擇測量類別(電阻率ρ、方塊電阻(薄片電阻率)R口或體電阻R中三選一,切換儀器到“測量”模式,窗口左側“測量”模式燈亮。電阻測量,注意良好接觸,電壓測試端在內側;半導體參數(shù)測試,將探針與樣品良好接觸,注意壓力要適中;由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值。
當薄片厚度與針距比W/S>0.5時, 設定電阻率基本系數(shù)C,參照表5.1,厚度修正G<1.000,形狀位置修正D<1.000,具體值G(W/S)和D(d/S)要查附表1和附表2,只讀結果。
電阻測量:
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
方塊電阻測量:
有選配的型號確定,詳見《不同半導體材料電阻率/方阻測試的四探針探頭和測試臺選配方法》
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 Ω/□)
量程: 20.00mV
誤差:±0.2%FSB±2LSB
大分辨力:1.0μV
長(高)度: 測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.
設定R=1.000。,其他可以忽略。只讀結果。
儀器具有測量范圍寬、精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、外形美觀、使用簡便等特點。
主機主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC、嵌入式單片機系統(tǒng)組成。自動/手動量程可選;電阻率、方阻、電阻測試類別快捷切換:儀器所有參數(shù)設定、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入,簡便可靠;具有零位、滿度自校功能;測試結果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀采用可充電鋰電池供電,適合手持式變動場合操作使用!
北京北廣精儀主營產品:萬能材料試驗機(拉力機)、電壓擊穿試驗儀、體積表面積電阻率測試儀、介電常數(shù)與介質損耗測試儀、低溫脆性沖擊試驗儀、耐電弧性能試驗儀、高壓漏電起痕試驗儀、環(huán)境試驗箱、維卡熱變形試驗儀、轉子硫化儀、熔體流動速率儀、水平垂直燃燒試驗儀、門尼粘度試驗儀、阿克隆磨耗試驗機、氣動沖片機、手動沖片機、滑動摩擦磨損試驗機、啞鈴制樣機、簡支梁沖擊試驗機、懸臂梁沖擊試驗機、氧指數(shù)測定儀、水分測定儀、海綿密度測定儀、橡膠回彈儀等。
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