HORIBA S48/32 氣體質量流量控制器

S48/32質量流量控制器產品介紹

 氣體質量流量控制器（流量計）（Mass gas flow controller(meter)縮寫為 MFC(MFM)）是對氣體的質量流量進行精密測量和控制的設備。

S48/32 質量流量控制器（流量計）

   特點： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

              ☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈等為重要零部件，均執(zhí)行 嚴格的入廠標準。 ☆具有精度高、重復性好、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

              ☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計 量。

 S48/32 質量流量控制器（流量計）主要應用領域：

    半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；   

    分析儀器設備的氣體計量與控制；

    各種形式的真空鍍膜設備；

    環(huán)境檢測與分析設備；

    化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

    特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

    混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

S48/32質量流量控制器產品規(guī)格

   S48 系列質量流量控制器（流量計） 質量流量計，用于對氣體的質量流量測量計量； 質量流量控制器，不但具有質量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣 體的質量流量功能。

  主要技術指標 質量流量控制器（流量計）流量出廠通常用氮氣（N2）標定。 質量流量單位為：標準狀態(tài) mL/min（毫升/分鐘） （SCCM 行業(yè)標準）； 標準狀態(tài) L/min （升/分鐘） （SLM 行業(yè)標準）。 標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃） 氣壓----101325Pa（1atm） F.S.(Full Scale)：表示滿量程值

HORIBA S48/32 氣體質量流量控制器