HORIBA SEC-N100 質(zhì)量流量控制器

 HORIBA SEC-N100系列質(zhì)量流量控制器

HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (^*1), 以及PROFIBUS™(^*2) (取決于產(chǎn)品型號(hào))。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至超大流量。

特征

• 大范圍控制，從微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
• 多種通訊方式及電源供給

 HORIBA SEC-N100系列質(zhì)量流量控制器

n數(shù)字式/ 模擬式通信

lRS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓）

l可與其它系列產(chǎn)品兼容

n復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程

l可以方便的在客戶端更改對(duì)應(yīng)氣體和量程

n高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量.

l選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.

n快速響應(yīng)：   在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時(shí)間≦1 sec

l內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時(shí)間

n氣閥種類

l 電磁閥 (~50SLM)

l 壓電陶瓷閥 (100/200SLM)

n密封圈材質(zhì) ：橡膠 或 金屬

n氣路表面 ：  未經(jīng)拋光處理

n接口 ：      僅有VCR接口

nRoHS要求：   滿足RoHS要求

氣體質(zhì)量流量控制器&氣體流量計(jì)

HORIBA提供多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器以滿足客戶不同的需求。所有產(chǎn)品都擁有高精度、快速響應(yīng)的特性。多種不同類型的氣體質(zhì)量流量控制器皆擁有寬泛的流量范圍，客戶可選擇適合的類型。我們可提供三種閥門，客戶可選擇熱式閥門、電磁線圈閥門、或者壓電陶瓷閥。同樣我們也可提供多種不同的通訊方式，包括模擬式、數(shù)字式、DeviceNet™ (^*1), 以及PROFIBUS™(^*2) (取決于產(chǎn)品型號(hào))。我們產(chǎn)品的流量范圍可覆蓋微量流量直至大流量。

^*1 Devicenet是一種通訊方式的標(biāo)志。
^*2 PROFIBUS是一種化的通訊方式標(biāo)志。

HORIBA SEC-N100 質(zhì)量流量控制器