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          HORIBA質(zhì)量流量控制器

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          訂貨量 1
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
          • 型號(hào)
          • 品牌 HORIBA/堀場
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 上海市
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          更新時(shí)間:2021-04-16 14:03:48瀏覽次數(shù):1963

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          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 電磁
          價(jià)格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
          應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),石油,地礦,電子
          HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器
          Horiba SEC-E40 系列質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測儀中。尤其在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。HORIBA質(zhì)量流量控制器

          詳細(xì)介紹

          HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器

          概要HORIBA質(zhì)量流量控制器

          ·  適用于廣泛范圍的流量控制:在同一系列中,適于從0.2SCCM500SLM(N2)的流量控制

          ·  適用于廣泛的用途:在普通產(chǎn)業(yè)市場中,擁有眾多的銷售業(yè)績,引以為豪。

          ·  低成本:產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號(hào): SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

          Horiba SEC-E40 質(zhì)量流量控制器、流量計(jì)

          技術(shù)規(guī)格

          型號(hào)

          SEC- (質(zhì)量流量控制器)

          SEC-E40、SEC-E40MK3

          SEC-E50、SEC-E50MK3

          SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

          SEF-E40

          E50

          適用氣體種類*1

          非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2O2、空氣、H2、Ar、He)

          氣體接觸部材質(zhì)

          SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

          閥門型號(hào)

          非通電時(shí) 關(guān)閉

          標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

          10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

          20/30 SLM

          流量控制范圍
          (適于SEC系列)

          2?100% F.S.

          流量測量范圍
          (適于SEF系列)

          0?100% F.S.

          響應(yīng)速度

          1秒以內(nèi)(T98)

          流量精度

          ±1% F.S.

          直線性

          ±0.5% F.S.

          反復(fù)性

          ±0.2% F.S.

          工作差壓值值
          (適于SEC系列)

          10 SCCM?5 SLM50?300kPa(d) 10?30 SLM:100?300kPa(d)

          使用壓力
          (適于SEF系列)

          300kPa(G)以下

          耐 壓

          1MPa(G)以下

          外部泄漏率

          1×10-8Pa?m3/s(He)以下

          使用環(huán)境溫度

          5?50(精度的確保:15?35)

          流量設(shè)定信號(hào)

          0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

          流量輸出信號(hào)

          0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

          驅(qū)動(dòng)電源

          +15VDC ±5% 50mA

           -15VDC ±5% 150mA 3VA

          15VDC ±5% 50mA

          −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

          標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

          1/4SWL 類型

           

          型號(hào)

          SEC- (質(zhì)量流量控制器)

          SEC-E60

          SEC-E70

          SEC-E80

          SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

          E60

          E70

          E80

          適用氣體種類*1

          N2、O2、Air、H2Ar、C3H8、CH4C4H10

          N2、O2Air、H2

          氣體接觸部材質(zhì)

          SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼

          閥門型號(hào)

          非通電時(shí) 關(guān)閉

          標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)

          50/100 SLM

          200 SLM

          300/500 SLM

          流量控制范圍 (適于SEC系列)

          5?100% F.S.

          流量測量范圍 (適于SEF系列)

          0?100% F.S.

          響應(yīng)速度

          1秒以內(nèi)(T98)

          2秒以內(nèi)(T98)

          流量精度

          ±1% F.S.

          ±2% F.S.

          直線性

          ±0.5% F.S.

          ±1% F.S.

          反復(fù)性

          ±0.5% F.S.

          ±1% F.S.

          工作差壓值值(適于SEC系列)

          100?300kPa(d)

          200?350kPa(d)

          使用壓力 (適于SEF系列)

          350kPa(G)以下

          耐 壓

          1MPa(G)以下

          外部泄漏率

          1×10-7Pa?m3/s(He)以下

          450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi)

          使用環(huán)境溫度

          5?45(精度的確保:15?35)

          流量設(shè)定信號(hào)

          0.25?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5?100% F.S.

          流量輸出信號(hào)

          0?5VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ)

          驅(qū)動(dòng)電源

          15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA

          標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

          3/8SWL 類型

          1/2SWL 類型

          *1:關(guān)于記載以外的氣體種類,請另行咨詢協(xié)商。
          *2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請另行咨詢協(xié)商。
          SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
          入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3大值300kPa(G);SEC-70/80大值350kPa(G)以下。
           SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at0、101.3kPa)的記號(hào)。

          HORIBA SEC-E40V(MK3)質(zhì)量流量控制器

          本公司同時(shí)提供美國AALBORG、美國NK、日本圖技、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器,記錄儀HORIBA質(zhì)量流量控制器

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