HORIBA S49 31/MT氣體質(zhì)量流量控制器
S49 31/MT流量控制器、S49 31A/MT流量計技術(shù)指標(biāo)
編號 | 項目 | S49 31/MT | S49 31A/MT |
1 | 流量規(guī)格 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0~1,2,3,5)L/min |
2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | |
3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 | |
4 | 準(zhǔn)確度 | ±1%F.S(10mL/min~5L/min規(guī)格,其余規(guī)格≤±2% F.S) |
5 | 線性 | ±1.0%F.S,±1.5%F.S |
6 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S |
7 | 響應(yīng)時間 | (3~4)s |
8 | 工作壓差范圍 | (0.05~0.3)MPa; (0.1~0.3)MPa(10~30)L/min |
9 | 耐壓 | 3MPa; 10MPa |
10 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃~45℃ |
11 | 材料 | 不銹鋼316L |
12 | 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 | Viton®, EPDM, 或其他由用戶 |
13 | 漏率 | 1×10-9atm.mL/s (He) |
14 | 接頭 | Ф3mm~Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR), 軟管接頭Ф4mm~Ф10mm 或其他 |
15 | 輸入輸出信號 | 0V~+5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA) |
16 | 供電電源 | ±15V(±2%)(+15V 50mA, -15V 200mA) |
17 | 外形尺寸mm | 134×134×38 |
18 | 重量kg | 1.0 |
S49 31/MT 系列質(zhì)量流量控制器外形及安裝尺寸
HORIBA S49 31/MT氣體質(zhì)量流量控制器