四探針電阻率測試儀-紅寶石探針頭 B(間距:1.59mm)型號(hào):GDSKDT-2 | 貨號(hào):ZH435 |
產(chǎn)品簡介 一、特點(diǎn) 1、 使用幾何尺寸的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。 2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,探針的小游移率。 3、 采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。 4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),持久耐磨。 二、用途 1、 測量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。 2、 測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。 三、探針間距 1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 2、 方形四探針…………… 1.00mm 3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 四、指標(biāo) 1、 游移率 B…………… <0.5% A……………<0.3% AA………… <0.2% AAA…………<0.1% 2、 間距偏差 B…………… <3% A…………… <2% AA………… <2% AAA………… <1% 3、 zui大針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm 4、 探針材料:硬質(zhì)合金(主成份:進(jìn)口碳化鎢)或高速鋼 5、 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力:6—10N(4根針總壓力) 小壓力:1.2—5N(4根針總壓力) 1牛頓(N)=101.97克 6、 針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層) 7、 500V緣電阻:>1000MΩ |