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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子,汽車,電氣 |
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KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述：
● 針對生產(chǎn)線全自動大型工件開發(fā)，可搭配機(jī)械手臂自動進(jìn)退樣品。
高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動微細(xì)形狀測定機(jī)，針對用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測量。
臺階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
KOSAKA臺階儀ET10000薄膜測厚儀產(chǎn)品概述：
| 重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 測定范圍 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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