美國MTS磁致伸縮位移傳感器研制
磁致伸縮位移傳感是利用磁致伸縮效應研制的傳感器。該傳感器可以實現(xiàn)非接觸、式測量，具有高精度、大量程的特點，特別是由于磁鐵和傳感器并無直接接觸，因此傳感器可應用在惡劣的工業(yè)環(huán)境，如易燃、易爆、易揮發(fā)、有腐蝕的場合。此外，傳感器能承受高溫高壓和高振蕩的環(huán)境。傳感器輸出信號為數(shù)值，所以即使電源中斷重接也不會對數(shù)據(jù)收構成問題，更無尖重新調整零位。由于傳感器組件都是非接觸的，所以即使測量過程理不斷重復的，也不會對傳感器造成任何磨損。
研制中涉及的關鍵技術有：
（1）大電流周期激發(fā)電路的設計；
（2）微弱信號的檢測、信號的濾波、放大、電壓比較、峰值檢驗波、電壓限幅等一系列電路的設計；
（3）基于單片機的高精度時間量測量。技術要求：測量范圍0～8cm，精度0.1mm。測量范圍不是很大，主要是受到實驗所用波導鋼絲本身長度的限制。
美國MTS磁致伸縮位移傳感器的原理
磁致旋轉波位移傳感器，
。除位置磁鐵外，所有其他元器件都安裝在傳感器殼體內(nèi)，
組成傳感器的主體。位置磁鐵通常裝在一個運動部件A上，
而傳感器主體則裝在一個固定的部件B上。
傳感器工作時，電子信號和處理系統(tǒng)發(fā)給磁致波導鋼絲間隔為T的激勵脈沖電流ie該脈沖電流將產(chǎn)生一個圍繞波導鋼絲的旋轉磁場。位置磁鐵也產(chǎn)生一個固定的磁場。根據(jù)Widemanm效應，金屬隨其瞬間變形產(chǎn)生波導扭曲，使波導鋼絲產(chǎn)生磁致彈性伸縮，即形成一個磁致旋轉波。磁致旋轉波的傳播速度為
式中：G為波導管的剪切彈性模量；ρ為波導管密度。
由于G和ρ均為恒定（對于一定的波導管來說）的，所以傳播速度也恒定。經(jīng)過計算該旋轉波沿著波導鋼絲以2 800 m/s的速度向兩邊傳播。當它傳到波導鋼絲一端的波檢測器時被轉換成電信號ua·通過測量磁致旋轉波從位置磁鐵傳到波檢測器的時間tL就能確定位置磁鐵和波檢測器之間的距離。這樣，當部件A和B產(chǎn)生相對運動，通過磁致旋轉波位移傳感器就可以確定部件A的位置和速度。
在波導鋼絲的另一端，磁致旋轉波將通過減波元件被大大削弱，以避免反射的波形對測量精度造成影響。波反射器是用于改善電信號ua的波形和加強電信號的大小。
美國MTS磁致伸縮位移傳感器的結構
根據(jù)這個原理，設計了總體的電子信號系統(tǒng)方案來檢測這個磁致旋轉波并送人到MCS51微型計算機處理。數(shù)字信號處理系統(tǒng)如圖2所示。
(1)產(chǎn)生一個周期激勵脈沖電流，該脈沖輸入波導鋼絲，以便圍繞波導鋼絲形成一個周期脈沖磁場。該脈沖的周期和寬度應通過微處理器編程來調節(jié)。為了獲得較強的脈沖磁場，激勵脈沖應具有足夠的能量，即足夠的電流。
3傳感器性能指標測試及結果
為了給傳感器系統(tǒng)進行定標，搭建了測試平臺。測試平臺由傳感器主體、位置磁鐵、螺旋測微器、印制電路板、LCD、FDPS-50BA型電源（輸人220V，輸出±15V,5 V)組成。
在搭建的平臺上面對傳感器的性能進行測量，主要包括傳感器的線性度，遲滯和重復性。
3.1 傳感器線性度
測量：在傳感器測量整個0～80mm范圍內(nèi)，旋動螺旋測微器分別每隔5mm記一組數(shù)據(jù)，位置磁鐵相應移動，連續(xù)取測量數(shù)據(jù)20組，如圖3。
線性度的指標公式為
式中：el為非線性誤差（線性度）；△max為zui大非線性誤差；YFS為輸出滿量程。
從圖3可知，采用zui小二乘法擬合直線的斜率為0.992，直線方程為Y = 0.15784+0. 992X，因此在0~80 mm范圍內(nèi)的線性度為0.387%。
3.2 傳感器遲滯
將螺旋測微器在傳感器的正反兩個方向量程內(nèi)來回移動，測量范圍為0～80mm，測到的數(shù)據(jù)如圖4。其中有正向測量和反向測量數(shù)值（每隔5mm測量1次），以及正反方向測量的差值△H。
由遲滯誤差公式
式中△Hmax為正反行程輸出zui大差值。
從圖4知，△Hmax=0.41，而rH=0.256%。
3.3 傳感器重復性
圖5是傳感器在正行程和反行程測量各測2次的數(shù)據(jù)，其中還計算了重復性偏差。根據(jù)式（2）可計算出0～80mm滿量程的重復性誤差指標el=±0.287%.。
3.4 傳感器其他靜態(tài)特性
3.4.1 傳感器的分辨力
經(jīng)過測試系統(tǒng)測試，移動螺旋測微器±0.056mm，傳感器LCD顯示值改變±0.056mm。
3.4.2 穩(wěn)定性
在測試時，將傳感器設定在一固定點，然后分別在4h讀取數(shù)據(jù)1次，測得值分別為31.62 mm, 31.56 mm, 31.56nm, 31.62mm。穩(wěn)定性誤差為0.06mm。傳感器通、斷電幾次后在此位置讀數(shù)，仍舊為31.62，驗證了磁致伸縮傳感器不受掉電影響。
溫度穩(wěn)定性是指傳感器在外界溫度變化下輸出量發(fā)生的變化。測量傳感器溫度穩(wěn)定性時，分別在房間溫度為15℃和室外溫度為1℃測量，讀數(shù)變化為0.06 m，即溫度穩(wěn)定性誤差為0.06 mm。
3.4.3 測試系統(tǒng)靈敏度
移動螺旋測微器0.05mm，測到傳感器LCD屏上變化0.056mm，此測試系統(tǒng)的靈敏度為1.12。
綜上，經(jīng)過實驗測得傳感器的靜態(tài)特性，可知傳感器的線性度為0.387%，遲滯誤差為0.256%，重復性誤差為±0.287%,分辨力為0.056mm。磁致伸縮位移傳感器的自身精度很高，理論可以達到μm級，實際分辨力只有0.056mm。