全自動(dòng)掃描電子顯微鏡的制備腔室直接安裝于電鏡鏡筒，而制備腔室的先進(jìn)的制冷系統(tǒng)和渦輪分子泵的安裝遠(yuǎn)離SEM，這樣可以保證極少的物質(zhì)直接進(jìn)入SEM。

   全自動(dòng)掃描電子顯微鏡樣本轉(zhuǎn)移直接從高真空到另一個(gè)高真空，極大的降低了樣本結(jié)霜污染的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)系統(tǒng)使用起來(lái)更流暢，操作者無(wú)論移動(dòng)樣本從制備腔室到SEM冷凍臺(tái)或反之都很方便。全自動(dòng)掃描電子顯微鏡是控制平臺(tái)，人體工程學(xué)的操作平臺(tái)，友好直觀(guān)的彩色觸摸屏，可彎曲的LED燈，這些均可以幫助使用者更好的進(jìn)行各項(xiàng)工作。

   全自動(dòng)掃描電子顯微鏡面上有一個(gè)抽氣管內(nèi)嵌其中，用來(lái)存放樣品傳輸裝置，當(dāng)樣品傳輸裝置不用時(shí)，可以保存潔凈、干燥真空狀態(tài)，不斷變換位置的樣品安裝桿提供一個(gè)堅(jiān)固的樣品裝載基座，桿上有一個(gè)樣品高度計(jì)量來(lái)確保裝載的樣品在一個(gè)可以被儀器接受的范圍內(nèi)。全自動(dòng)掃描電子顯微鏡操作觸屏安裝在可彎曲基座上，通過(guò)基座可以調(diào)整觸屏的角度來(lái)滿(mǎn)足操作儀器的人一目了然儀器的基本參數(shù)。

   全自動(dòng)掃描電子顯微鏡友好直觀(guān)的彩色觸摸屏，允許用戶(hù)自定義方案，它可快速輸入和儲(chǔ)存以便隨時(shí)訪(fǎng)問(wèn)調(diào)用。屏幕可設(shè)置成適合不同操作者及其喜好的模式（例如：模擬式或數(shù)字式真空測(cè)量顯示）。雖然樣品制備過(guò)程中許多關(guān)鍵步驟是自動(dòng)完成的（氣鎖抽真空，升華刻蝕，濺射鍍膜等）但通過(guò)用戶(hù)友好的視頻可立刻給出進(jìn)一步的幫助。