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光刻膠按其形成的圖像分類有正性、負(fù)性兩大類。在光刻膠工藝過程中，涂層曝光、顯影后，曝光部分被溶解，未曝光部分留下來，該涂層材料為正性光刻膠。如果曝光部分被保留下來，而未曝光被溶解，該涂層材料為負(fù)性光刻膠。按曝光光源和輻射源的不同，又分為紫外光刻膠（包括紫外正、負(fù)性光刻膠）、深紫外光刻膠、X-射線膠、電子束膠、離子束膠等。
中文名稱：2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯
英文名稱：2-Isopropyl-2-adamantyl acrylate
CAS號(hào)：251564-67-7
分子量：248.36100
密度：1.0±0.1 g/cm3
沸點(diǎn)：313.2±11.0 °C at 760 mmHg
分子式：C16H24O2
熔點(diǎn)：N/A
MSDS：N/A
閃點(diǎn)：128.5±16.7 °C
正膠S1800光刻膠
負(fù)膠NR光刻膠
紫外光刻膠薄膠 S1805G/S1818/S1813 半導(dǎo)體材料
光刻膠 SPR 955
聚酰亞胺光刻膠
AZ52ME反轉(zhuǎn)光刻膠
BP-212正性光刻膠
PAG改性SU8光刻膠
以上來自瑞禧生物WFF.2022.6
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