產(chǎn)品概述:
Keithley 4200-SCS(半導(dǎo)體表征系統(tǒng))是用于半導(dǎo)體器件和材料的 I-V 表征的集成系統(tǒng)。根據(jù)配置,該儀器具有兩個標(biāo)準(zhǔn) SMU(分辨率為 1pA)和兩個預(yù)放大 SMU(分辨率為 100fA)。當(dāng)與地面單元 (GRNU) 結(jié)合使用時,這提供了執(zhí)行多達(dá)五個終端設(shè)備測量的能力。4200-SCS 是執(zhí)行晶體管表征和參數(shù)測量的理想儀器。它還可用于二極管表征。高級用戶可以將儀器的配置靈活性、高的靈敏度用于其他目的,例如壓力測試和準(zhǔn)靜態(tài) C-V 測量。
4200-SCS 通過便捷的用戶界面提供真正出色的靈敏度和性能。但是,強(qiáng)烈建議用戶注意,成功的低電流測量(例如,低于 1pA)需要適當(dāng)?shù)膴A具并熟練掌握屏蔽和保護(hù)技術(shù)。因此,鼓勵用戶花時間研究設(shè)備操作手冊,并仔細(xì)考慮他們的樣品配置和實驗條件。不做出此承諾將導(dǎo)致設(shè)備性能受損和無法獲得優(yōu)良結(jié)果。所有測試配置中的一個重要考慮因素是測試敏感度和測試時間之間的權(quán)衡。極低電流測試受物理定律(散粒噪聲)的限制,精度是通過較長的測試(積分)時間實現(xiàn)的。
儀器的輸入通過低噪聲三軸電纜提供。為了充分利用性能,應(yīng)將測試夾具配置為盡可能靠近被測設(shè)備 (DUT) 的受保護(hù)連接。
MTW 工程師可以通過 GUI 為被測器件 DUT 夾具和編程提供建議和幫助。希望在不全面了解其操作的情況下利用儀器功能的用戶應(yīng)預(yù)見到需要購買幫助。
對于在可用操作范圍內(nèi)要求最高靈敏度的用戶,該儀器是良好的選擇。
技術(shù)特征:
臺式電壓、電流測量
電壓至 200v
電流至 100mA
圖形用戶界面設(shè)置和操作
基于 GPIB 的自動數(shù)據(jù)采集 - 需要高級編程技能