產(chǎn)品描述：
SMU 將電壓/電流源和測(cè)量功能集成到一個(gè)模塊中，可實(shí)現(xiàn)精確的直流電流-電壓 (IV) 測(cè)量，分辨率低至 fA/μV。如果您需要更多的測(cè)量性能，可以通過(guò)可選的 ASU（Atto 感應(yīng)開(kāi)關(guān)單元）將低電流測(cè)量性能擴(kuò)展到 sub-fA 級(jí)別。
SMU 還可以執(zhí)行準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QS-CV) 測(cè)量。它是一種獲得低頻CV特性的測(cè)量方法，對(duì)于表征晶體管柵極的表面狀態(tài)以及高頻CV特性具有重要意義。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
4 象限電源和測(cè)量能力范圍為 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V，可實(shí)現(xiàn)精確的電流-電壓 (IV) 表征
適用于各種測(cè)量的點(diǎn)、掃描、脈沖和采樣測(cè)量功能
最小采樣測(cè)量間隔 100 μs，最小脈沖寬度 500 μs
帶漏電流補(bǔ)償?shù)臏?zhǔn)靜態(tài)電容電壓 (QS-CV) 測(cè)量
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