目錄:天津市拓普儀器有限公司>>物理教學儀器>>工程光學>> TPY-2型自動橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品詳細資料
| 測量范圍 | 薄膜厚度范圍：1nm-300nm；折射率范圍：1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°-180°讀取分辨率為0.05° |
| 入射光波長 | 632.8nm | 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
| 入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°- 90°精度≤0.05° | 測量膜厚 | ±0.5nm |
| 光學中心高 | 80mm | 折射率重復性精度 | ±0.05 |
| 測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 儀器測量精度 | ±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時） |
| 允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 外形尺寸 | 580×390×320（mm） |
| 度盤刻度 | 每格1度 | 主機重量 | 28kg |
TPY-2實驗主機、電控系統(tǒng)、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
* 計算機及打印機（需另配）
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