目錄:天津市拓普儀器有限公司>>物理教學(xué)儀器>>工程光學(xué)>> TPY-1橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品詳細(xì)資料
測量范圍 | 薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
入射光波長 | 632.8nm | 偏振器步進(jìn)角 | 0.014°/步 |
入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°- 90°精度為0.05° | 測量膜厚 | ±1nm |
光學(xué)中心高 | 80mm | 折射率重復(fù)性精度 | ±0.01 |
測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 外形尺寸 | 590×390×290(mm) |
允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm,厚度≤15mm | 主機(jī)重量 | 25kg |
TPY-1實驗主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、二氧化硅膜樣片、配套軟件
* 計算機(jī)及打印機(jī)(需另配)
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